恭喜中國科學院長春光學精密機械與物理研究所楊永強獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜中國科學院長春光學精密機械與物理研究所申請的專利基于權值分配的共焦測量系統及測量方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115307574B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-06發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202211087003.4,技術領域涉及:G01B11/24;該發明授權基于權值分配的共焦測量系統及測量方法是由楊永強;王廷煜;王之一;王建立;糜小濤;楊禹凱;全勝;姚凱男;劉昌華設計研發完成,并于2022-09-07向國家知識產權局提交的專利申請。
本基于權值分配的共焦測量系統及測量方法在說明書摘要公布了:本發明提供一種基于權值分配的共焦測量系統及測量方法,共焦測量系統通過位置測量單元中的差動共焦測量組件進行位置距離的測量;通過在差動共焦光路的基礎上,加入角度測量單元進而構建測角光路,實現對測量位置的同時進行傾斜角度的測量。本發明所提供的技術方案解決了現有技術中差動共焦顯微測距的同時不能測傾斜角度的問題。光學系統的光路簡單易于實現。角度測量組件分光測角光路結構簡單,成本低。實現了在差動共焦測距的同時,獲取待測位置傾斜角度信息,在光學形貌測量,尤其在對微小表面缺陷識別中精度更高。
本發明授權基于權值分配的共焦測量系統及測量方法在權利要求書中公布了:1.一種基于權值分配的共焦測量系統,其特征在于,包括位置測量單元、角度測量單元;其中,所述位置測量單元包括沿光路依次設置的第一分束鏡、第一聚焦透鏡、第二分束鏡、差動共焦測量組件;所述角度測量單元包括沿光路依次設置的多面體棱鏡、角度測量組件;激光光束入射至所述第一分束鏡,經所述第一分束鏡透射至所述第一聚焦透鏡進行聚焦,聚焦后的光束入射至待測物,經待測物表面反射后穿過所述第一聚焦透鏡后,入射至所述第一分束鏡,經所述第一分束鏡反射至所述第二分束鏡進行分光,一部分光束被反射作為角度測量光束入射至所述多面體棱鏡,所述多面體棱鏡將入射的角度測量光束進行分束后入射至所述角度測量組件,所述角度測量組件根據入射光束的強度的權值分布獲取待測物表面待測點的角度信息,另一部分被透射作為位置測量光束入射至所述差動共焦測量組件進行位置測量,通過所述差動共焦測量組件獲取待測物表面待測點的位置信息,并結合所述角度信息同時獲取待測物的面型信息和表面傾角信息;所述多面體棱鏡為四面體棱鏡,且所述四面體棱鏡的三個側面鍍有反射膜;所述角度測量組件為沿光路依次設置的聚焦透鏡組、針孔組、光電探測器組;所述聚焦透鏡組包括第二聚焦透鏡、第三聚焦透鏡、第四聚焦透鏡;所述針孔組包括第一針孔、第二針孔、第三針孔;所述光電探測器組包括第一光電探測器、第二光電探測器、第三光電探測器;經所述四面體棱鏡各個側面反射的角度測量光束分別入射至所述第二聚焦透鏡、所述第三聚焦透鏡和所述第四聚焦透鏡,經相應的聚焦透鏡聚光后,分別穿過所述第一針孔、所述第二針孔、所述第三針孔,分別入射至所述第一光電探測器、所述第二光電探測器和所述第三光電探測器。
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