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龍圖騰網恭喜蘇州艾科瑞思智能裝備股份有限公司申請的專利一種高精度對準方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115360108B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-06發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211140112.8，技術領域涉及：H01L21/60；該發明授權一種高精度對準方法是由吳志海;尚明偉;王敕設計研發完成，并于2022-09-20向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種高精度對準方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種高精度對準方法，包括以下步驟：S1、拾取頭拾取芯片，翻轉180度；S2、焊頭從拾取頭上吸取芯片；S3、焊頭隨第一下視視覺設備、第二下視視覺設備移動至校準片上方，焊頭水平運動，避讓校準片；S4、識別上視視覺的視覺中心與下視視覺的視覺中心的相對誤差；S5、芯片上標記點與第一下視視覺設備視覺中心的相對誤差；S6、識別基板上標記點與第一下視視覺設備視覺中心的相對誤差；S7、計算得到芯片上標記點與基板上標記點的間距；S8、進行位置補償；S9、高精度鍵合。本發明相較于現有技術，利用高精度位置傳感器配合多個視覺檢測設備實現芯片的位置校準，有效提高鍵合精度。

本發明授權一種高精度對準方法在權利要求書中公布了：1.一種高精度對準方法，其特征在于，包括以下步驟：S1、第一視覺檢測組件識別芯片1的外形輪廓，拾取頭移動至所述芯片1上方，向下拾取所述芯片1，上升后將所述芯片1翻轉180度；S2、焊頭2從拾取頭上吸取所述芯片1，所述芯片1上標記點B1、標記點B2方向朝下；S3、所述焊頭2隨第一下視視覺設備、第二下視視覺設備移動至校準片3上方，所述焊頭2水平運動，避讓所述校準片3；S4、所述校準片3上設置有標記點A1、A2，第一下視視覺設備識別標記點A1，第二下視視覺設備識別標記點A2，所述校準片3下方設置有第一上視視覺設備、第二上視視覺設備，第一上視視覺設備識別標記點A1，第二上視視覺設備識別標記點A2，得到第一下視視覺設備的視覺中心和第一上視視覺設備的視覺中心相對誤差以及第二下視視覺設備的視覺中心與第二下視視覺設備的視覺中心對誤差此時第二下視視覺設備上的高精度位置傳感器5記錄所述焊頭2的第一位置數據，所述第一位置數據包括所述焊頭2的XYZ方向的位置；S5、所述校準片3水平移動進行避讓，同時焊頭2水平移動，使得所述芯片1移動至第一上視視覺設備、第二上視視覺設備上方，第一上視視覺設備識別標記點B1，第二上視視覺設備標識別標記點B2，得到標記點B1與第一上視視覺設備視覺中心的相對誤差δB1以及標記點B2與第二上視視覺設備視覺中心的相對誤差δB2，從而計算得到標記點B1與第一下視視覺設備視覺中心的相對誤差A1B1以及標記點B2與第二下視視覺設備視覺中心的相對誤差A2B2；S6、所述焊頭2隨第一下視視覺設備、第二下視視覺設備移動至基板4上方，之后所述焊頭2水平運動，進行讓位，第一下視視覺設備識別所述基板4上的標記點C1，第二下視視覺設備識別所述基板4上的標記點C2，得到標記點C1與第一下視視覺設備視覺中心的相對誤差以及標記點C2與第二下視視覺設備視覺中心的相對誤差S7、所述焊頭2移動至所述基板4上方，此時第二下視視覺設備上的高精度位置傳感器5記錄所述焊頭2的第二位置數據，根據相對誤差A1B1和相對誤差計算標記點B1與標記點C1的間距B1C1，根據相對誤差A2B2和相對誤差計算標記點B2與標記點C2的間距B2C2；S8、所述焊頭2根據計算出的間距B1C1和間距B2C2，進行XY運動，實現位置補償；S9、所述芯片1對準所述基板4后，所述焊頭2沿Z軸下降，將所述芯片1和所述基板4的鍵合；在所述步驟S7中，在計算間距B1C1和間距B2C2之前，先根據所述第一位置數據和所述第二位置數據計算所述焊頭2的位置偏移量，所述焊頭2根據所述位置偏移量進行高度補償和XY位置補償。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人蘇州艾科瑞思智能裝備股份有限公司，其通訊地址為：215558 江蘇省蘇州市常熟市東南街道東南大道1150號4-1、4-2；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。