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龍圖騰網(wǎng)恭喜江蘇通用半導(dǎo)體有限公司申請(qǐng)的專利一種晶圓清洗線及晶圓清洗方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN116099844B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-06發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202310152591.3，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B08B11/00；該發(fā)明授權(quán)一種晶圓清洗線及晶圓清洗方法是由陶為銀;閆興;蔡正道;喬賽賽設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2023-02-22向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種晶圓清洗線及晶圓清洗方法在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種晶圓清洗線及晶圓清洗方法，包括機(jī)架，所述機(jī)架上沿X方向依次設(shè)置有上料站、第一工站、第二工站、第三工站、第四工站和下料站，所述上料站和第一工站之間設(shè)置有第一靜電吸附機(jī)構(gòu)，所述第四工站和下料站之間設(shè)置有第二靜電吸附機(jī)構(gòu)，所述第一工站一側(cè)對(duì)應(yīng)設(shè)置有清洗劑噴灑機(jī)構(gòu)，所述第二工站一側(cè)對(duì)應(yīng)設(shè)置有清潔刷機(jī)構(gòu)，所述第三工站一側(cè)對(duì)應(yīng)設(shè)置有吹風(fēng)機(jī)構(gòu)，所述第四工站對(duì)應(yīng)設(shè)置有粘塵機(jī)構(gòu)，所述機(jī)架上還設(shè)置有移載機(jī)構(gòu)，所述移載機(jī)構(gòu)用于將晶圓在相鄰的兩個(gè)工站之間進(jìn)行轉(zhuǎn)移。優(yōu)點(diǎn)：能夠高效的完成對(duì)晶圓的雙面清洗，使得晶圓的表面潔凈度高，保證晶圓的利用。

本發(fā)明授權(quán)一種晶圓清洗線及晶圓清洗方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種晶圓清洗線，包括機(jī)架，其特征在于：所述機(jī)架上沿X方向依次設(shè)置有上料站1、第一工站2、第二工站3、第三工站4、第四工站5和下料站6，所述上料站1和第一工站2之間設(shè)置有第一靜電吸附機(jī)構(gòu)7，所述第四工站5和下料站6之間設(shè)置有第二靜電吸附機(jī)構(gòu)8，所述第一工站2一側(cè)對(duì)應(yīng)設(shè)置有清洗劑噴灑機(jī)構(gòu)9，所述第二工站3一側(cè)對(duì)應(yīng)設(shè)置有清潔刷機(jī)構(gòu)10，所述第三工站4一側(cè)對(duì)應(yīng)設(shè)置有吹風(fēng)機(jī)構(gòu)11，所述第四工站5對(duì)應(yīng)設(shè)置有粘塵機(jī)構(gòu)12，所述機(jī)架上還設(shè)置有移載機(jī)構(gòu)13，所述移載機(jī)構(gòu)13用于將晶圓在相鄰的兩個(gè)工站之間進(jìn)行轉(zhuǎn)移；所述移載機(jī)構(gòu)13包括沿X方向設(shè)置的一號(hào)直線模組131、沿Z軸設(shè)置在一號(hào)直線模組131上且輸出端朝上的二號(hào)氣缸132、沿X軸固定設(shè)置在二號(hào)氣缸132輸出端的一號(hào)連接板133、若干個(gè)沿Y軸且等間距設(shè)置在連接板上的三號(hào)氣缸134、若干個(gè)分別設(shè)置在三號(hào)氣缸134輸出端的吸盤組件135；所述吸盤組件135包括與三號(hào)氣缸134輸出端固定連接的連接段351、與連接段351一體成型的圓弧段352以及若干個(gè)設(shè)置在圓滑端的一號(hào)吸盤353，若干所述一號(hào)吸盤353均勻的設(shè)置在圓弧段352上；所述上料站1、下料站6、第一工站2、第二工站3、第三工站4和第四工站5結(jié)構(gòu)相同，所述上料站1包括固定設(shè)置的一號(hào)工裝101、固定設(shè)置在一號(hào)工裝101上的固定座102、若干沿固定座102周向滑動(dòng)設(shè)置在一號(hào)工裝101上的升降導(dǎo)柱103、連接若干升降導(dǎo)柱103下端的二號(hào)連接板104以及用于驅(qū)動(dòng)二號(hào)連接板104升降的四號(hào)氣缸105，所述圓弧段352可伸入固定座102外側(cè)與升降導(dǎo)柱103之間，所述升降導(dǎo)柱103包括與二號(hào)連接板104固定連接并與一號(hào)工裝101滑動(dòng)連接的一號(hào)柱031以及同軸設(shè)置在一號(hào)柱031上端的二號(hào)柱032，所述二號(hào)柱032上端設(shè)置有圓弧頂角033，所述二號(hào)柱032的直徑小于一號(hào)柱031的直徑，使得二號(hào)柱032與一號(hào)柱031形成用于放置晶圓的臺(tái)階034，所述固定座102上設(shè)置有真空吸附孔；所述清洗劑噴灑機(jī)構(gòu)9包括沿Y軸設(shè)置的二號(hào)直線模組91以及設(shè)置在二號(hào)直線模組91輸出端的噴淋頭92。

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