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龍圖騰網恭喜北京七星華創集成電路裝備有限公司申請的專利片盒氣體輸送裝置及半導體工藝設備獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN222838818U 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-06發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202420324885.X，技術領域涉及：H01L21/677；該實用新型片盒氣體輸送裝置及半導體工藝設備是由楊曉斌;潘忠懷設計研發完成，并于2024-02-21向國家知識產權局提交的專利申請。

本片盒氣體輸送裝置及半導體工藝設備在說明書摘要公布了：本實用新型提供一種片盒氣體輸送裝置及半導體工藝設備，該裝置中，固定座用于安裝于片盒承載部件，柔性連接件與固定座固定連接，且在固定座中設置有第一連接通道，柔性連接件中設置有第二連接通道，第一連接通道的一端用于與氣源或廠務排氣端連接，第一連接通道的另一端與第二連接通道的一端連接；在片盒放置于片盒承載部件的承載面的情況下，第二連接通道的另一端用于與片盒底部的送氣口或排氣口連通，且柔性連接件與片盒的底面相貼合，并處于被壓縮狀態，用以密封第二連接通道與送氣口或排氣口的連接處。本方案可以降低片盒內部的含氧量和濕度，防止外部的顆粒進入片盒內，從而可以提高片盒內的微環境質量，保護片盒內的晶圓。

本實用新型片盒氣體輸送裝置及半導體工藝設備在權利要求書中公布了：1.一種片盒氣體輸送裝置，應用于半導體工藝設備，其特征在于，包括用于向所述片盒送氣的送氣組件，和用于排出所述片盒內氣體的排氣組件，所述送氣組件和所述排氣組件均包括固定座和柔性連接件，其中，所述固定座用于安裝于片盒承載部件，所述柔性連接件與所述固定座固定連接，且在所述固定座中設置有第一連接通道，所述柔性連接件中設置有第二連接通道，所述第一連接通道的一端用于與氣源或廠務排氣端連接，所述第一連接通道的另一端與所述第二連接通道的一端連接；在所述片盒放置于所述片盒承載部件的承載面的情況下，所述第二連接通道的另一端用于與所述片盒底部的送氣口或排氣口連通，且所述柔性連接件與所述片盒的底面相貼合，并處于被壓縮狀態，用以密封所述第二連接通道與所述送氣口或排氣口的連接處。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人北京七星華創集成電路裝備有限公司，其通訊地址為：101312 北京市順義區天竺綜合保稅區竺園三街6號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。