恭喜中科芯微智能裝備(沈陽)有限公司朱玉東獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜中科芯微智能裝備(沈陽)有限公司申請的專利傳動裝置、真空機械手及真空機械手的傳動方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN118952179B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-02發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202411178755.0,技術領域涉及:B25J9/04;該發明授權傳動裝置、真空機械手及真空機械手的傳動方法是由朱玉東;常志勇;董宏達;侯雙明設計研發完成,并于2024-08-27向國家知識產權局提交的專利申請。
本傳動裝置、真空機械手及真空機械手的傳動方法在說明書摘要公布了:本發明提供了一種傳動裝置、真空機械手及真空機械手的傳動方法,真空機械手包括第一擺臂、第二擺臂以及晶圓拿取手,傳動裝置包括:第一傳動機構設于第一擺臂內且沿第一擺臂的長度方向設置,第一傳動機構的其中一個端部延伸出第一擺臂并與第二擺臂的其中一個端部連接;第二傳動機構設于第一擺臂內;第三傳動機構設于第二擺臂內且沿第二擺臂的長度方向設置,第三傳動機構的其中一個端部與第二傳動機構連接,第三傳動機構的另一個端部延伸出第二擺臂的另一個端部并與晶圓拿取手連接。第一擺臂、第二擺臂、晶圓拿取手可實現無限回轉,因沒有轉動限制,無需順時針旋轉一定角度后再逆時針回轉至初始位置,加快了生產節拍,實現了晶圓拿取手的無限回轉。
本發明授權傳動裝置、真空機械手及真空機械手的傳動方法在權利要求書中公布了:1.一種傳動裝置,應用于真空機械手,所述真空機械手包括第一擺臂、第二擺臂以及晶圓拿取手,其特征在于,所述傳動裝置包括:第一傳動機構,設于所述第一擺臂內,沿所述第一擺臂的長度方向設置,所述第一傳動機構的其中一個端部延伸出所述第一擺臂并與所述第二擺臂的其中一個端部連接;第二傳動機構,設于所述第一擺臂內;第三傳動機構,設于所述第二擺臂內,沿所述第二擺臂的長度方向設置,所述第三傳動機構的其中一個端部與所述第二傳動機構連接,所述第三傳動機構的另一個端部延伸出所述第二擺臂的另一個端部并與所述晶圓拿取手連接;所述第二傳動機構包括第二主動輪、第二從動輪以及第二傳動帶,所述第一傳動機構包括第一主動輪、第一從動輪以及第一傳動帶,所述第一主動輪可轉動地設于所述第二主動輪,所述第二從動輪上凸伸形成有連接臺,所述第一從動輪呈筒狀且可轉動地套設于所述連接臺上,所述第一擺臂另一個端部的內壁對應所述第二從動輪設有凸臺,所述第二從動輪可轉動地套設于所述凸臺上;所述第三傳動機構包括第三主動輪、第三從動輪以及第三傳動帶,所述第三主動輪穿過所述第一從動輪并與所述第二從動輪連接,所述第三主動輪上凸伸形成有延伸部,所述延伸部伸出所述第二擺臂的其中一個端部外,并伸入所述第一從動輪內且與所述連接臺固定連接。
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