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龍圖騰網(wǎng)恭喜南京埃米儀器科技有限公司申請的專利一種晶圓吸盤獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產(chǎn)權局授予，授權公告號為：CN119170555B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權局官網(wǎng)在2025-05-02發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：202411677042.9，技術領域涉及：H01L21/683；該發(fā)明授權一種晶圓吸盤是由請求不公布姓名;請求不公布姓名;請求不公布姓名;請求不公布姓名設計研發(fā)完成，并于2024-11-22向國家知識產(chǎn)權局提交的專利申請。

本一種晶圓吸盤在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種晶圓吸盤，包括盤體，所述盤體包括吸附面，所述吸附面為平面，吸附面與晶圓接觸面貼合；所述吸附面的中心開設連通氣管的中心圓孔，自中心圓孔向外間隔開設多條同心的環(huán)形溝槽，自中心圓孔沿徑向均布設置N個截面呈“三角形”的溝槽，且三角形溝槽與所有的環(huán)形溝槽均相交，盤體粘接金屬托盤，氣管固定在金屬托盤上并連通中心圓孔。優(yōu)點，本發(fā)明晶圓吸盤，金屬托盤作為剛性支撐，解決了普通吸盤例如類似馬桶抽，不具有剛性支撐，在吸力較大、抽氣速度快時容易發(fā)生吸盤變扁、邊緣無法吸附等問題；同時采用等流量原理設計了吸氣通道，使得吸氣時阻力最小，因而速度快壓力大。

本發(fā)明授權一種晶圓吸盤在權利要求書中公布了：1.一種晶圓吸盤，其特征在于，包括盤體，所述盤體包括吸附面，所述吸附面為平面，吸附面與晶圓接觸面貼合；所述吸附面的中心開設連通氣管的中心圓孔（8），自中心圓孔（8）向外間隔開設多條同心的環(huán)形溝槽（2），自中心圓孔（8）沿徑向均布設置N個截面呈“三角形”的溝槽，且三角形溝槽（3）與所有的環(huán)形溝槽（2）均相交；其中，三角形溝槽（3）在環(huán)形溝槽（2）中的內(nèi)弧長為A，已知三角形溝槽（3）的三角形界面底面弧線的長度為，根據(jù)弧長與半徑的比例關系，可知： （1） （2）R1為吸附面的半徑，R0為中心圓孔（8）的半徑，R為在吸附面上作與中心圓孔（8）同心的圓形輔助線（4）的半徑，N為三角形溝槽（3）的數(shù)量，R0＜R＜R1；根據(jù)等流量原理，從三角形溝槽（3）流入環(huán)形溝槽（2）的流量相等，環(huán)形溝槽（2）的寬度等于三角形溝槽（3）在環(huán)形溝槽（2）中的內(nèi)弧長為A，即： （3）。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢嗳?a target="_blank" rel="noopener noreferrer nofollow" >南京埃米儀器科技有限公司，其通訊地址為：211899 江蘇省南京市江北新區(qū)研創(chuàng)園雨合路光電科技園C座C502、C503、C504；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。