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龍圖騰網恭喜煙臺魔技納米科技有限公司申請的專利一種基于多焦點控制的高速并行激光三維光子引線鍵合方法及系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119387845B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-02發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411980396.0，技術領域涉及：B23K26/21；該發明授權一種基于多焦點控制的高速并行激光三維光子引線鍵合方法及系統是由史強;朱林偉設計研發完成，并于2024-12-31向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種基于多焦點控制的高速并行激光三維光子引線鍵合方法及系統在說明書摘要公布了：本發明提供一種基于多焦點控制的高速并行激光三維光子引線鍵合方法及系統，屬于硅光芯片生產技術領域，所述方法包括步驟如下：確定目標加工平面上N個焦點的加工軌跡，將每條加工軌跡均分成M段，從每一段上取出焦點的位置點，按照加工方向構建M×N的位置點矩陣；從位置點矩陣中依次取出每行的位置點進行復振幅編碼，得到M個全息相位圖；構建含有空間光調制器的飛秒激光加工系統，并通過空間光調制器動態加載M個全息相位圖，得到N個焦點同時在目標加工平面進行光波導加工的N條加工軌跡。本發明通過改變焦點數量、每個焦點的強度以及每個焦點的移動路徑來控制光波導的數量、厚度和路徑，減少了硅光芯片生產過程中迭代次數。

本發明授權一種基于多焦點控制的高速并行激光三維光子引線鍵合方法及系統在權利要求書中公布了：1.一種基于多焦點控制的高速并行激光三維光子引線鍵合方法，其特征在于，包括如下步驟：S1.確定目標加工平面上N個焦點的加工軌跡，將每條加工軌跡均分成M段，從每一段上取出焦點的位置點，按照加工方向構建M×N的位置點矩陣；S2.從位置點矩陣中依次取出每行的位置點進行復振幅編碼，得到M個全息相位圖；S2具體如下：S21.從位置點矩陣中按照加工方向取出每個焦點的起始位置點，得到當前一組位置點；S22.將當前一組位置點進行復振幅編碼，得到一個全息相位圖；S22具體如下：SA1.判斷各焦點的強度是否相等；若是，進入S221；若否，進入SA2；SA2.獲取各焦點的強度比，根據各焦點的強度比對位置點對應的純相位分布中振幅進行設置；S221.獲取當前一組位置點的坐標，對每個位置點對應的焦點通過如下公式計算純相位分布： 其中，是波長；A是振幅；是孔徑半徑；是物鏡浸沒介質的折射率；，是物鏡后焦面的位置坐標；，是在焦平面的x、y方向上，與無相位調制的物鏡原焦斑相比的相對位移分量；S222.根據每個焦點在位置點的純相位分布通過如下公式計算出入射場的復振幅分布方程； 其中，n是焦點的序號，N是焦點的數量，i是虛數單位，m是拓撲電荷數；S23.判斷位置點矩陣中各行的位置點是否編碼完畢；若是，進入S3；若否，進入S24；S24.從位置點矩陣中按照加工方向取出每個焦點在下一行的位置點作為當前一組位置點，返回S22；S3.構建含有空間光調制器的飛秒激光加工系統，并通過空間光調制器動態加載M個全息相位圖，得到N個焦點同時在目標加工平面進行光波導加工的N條加工軌跡。

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