恭喜珠海電科星拓科技有限公司請求不公布姓名獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜珠海電科星拓科技有限公司申請的專利電遷移評估方法、裝置及電子設備獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN119442994B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-05-02發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202510037954.8,技術領域涉及:G06F30/3308;該發明授權電遷移評估方法、裝置及電子設備是由請求不公布姓名;請求不公布姓名;請求不公布姓名;請求不公布姓名;請求不公布姓名設計研發完成,并于2025-01-10向國家知識產權局提交的專利申請。
本電遷移評估方法、裝置及電子設備在說明書摘要公布了:本發明提供了一種電遷移評估方法、裝置及電子設備,涉及集成電路技術領域。該方法包括:獲取集成電路樣品在多個應用場景下分別對應的工作溫度和工作時間,并依據多個工作時間之和得到目標壽命時間。確定集成電路樣品的電遷移溫度函數。利用電遷移溫度函數將每個工作溫度下對應的工作時間歸一化到參考溫度下,以得到第一等效時間。基于電遷移溫度函數、目標壽命時間和多個第一等效時間確定第一等效溫度。在第一等效溫度下對集成電路樣品進行電遷移仿真分析,得到仿真結果,并基于仿真結果評估集成電路樣品中的互連線是否存在電遷移風險。本發明中的第一等效溫度更加貼近集成電路樣品的實際應用溫度,極大地提高了電遷移分析的準確性。
本發明授權電遷移評估方法、裝置及電子設備在權利要求書中公布了:1.一種電遷移評估方法,其特征在于,用于評估集成電路樣品中互連線的電遷移風險,所述方法包括:獲取所述集成電路樣品在多個應用場景下分別對應的工作溫度和工作時間,并依據多個所述工作時間之和得到目標壽命時間;確定所述集成電路樣品的電遷移溫度函數;利用所述電遷移溫度函數將每個工作溫度下對應的所述工作時間歸一化到參考溫度下,以得到第一等效時間;基于所述電遷移溫度函數、所述目標壽命時間和多個所述第一等效時間確定第一等效溫度;獲取所述集成電路樣品的工藝信息;當所述集成電路樣品采用立體工藝制成時,在所述第一等效溫度下對所述集成電路樣品進行電遷移仿真分析,得到第一仿真結果,并基于所述第一仿真結果評估立體工藝集成電路樣品中的互連線是否存在電遷移風險;當所述集成電路樣品采用平面工藝制成時,在所述第一等效溫度下對所述集成電路樣品進行電遷移仿真分析,得到互連線的第一平均電流電遷移值和均方根電流電遷移值;基于所述均方根電流電遷移值和預設自發熱溫升得到互連線的實際自發熱溫升,其中,所述預設自發熱溫升為所述均方根電流電遷移值為100%時所對應的互連線的自發熱產生的溫升值;基于所述電遷移溫度函數、所述第一等效溫度、所述實際自發熱溫升和所述第一平均電流電遷移值得到第二平均電流電遷移值;基于所述第二平均電流電遷移值評估平面工藝集成電路樣品中的互連線是否存在電遷移風險。
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