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龍圖騰網(wǎng)恭喜珠海電科星拓科技有限公司申請(qǐng)的專利電遷移評(píng)估方法、裝置及電子設(shè)備獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119442994B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-05-02發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202510037954.8，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G06F30/3308；該發(fā)明授權(quán)電遷移評(píng)估方法、裝置及電子設(shè)備是由請(qǐng)求不公布姓名;請(qǐng)求不公布姓名;請(qǐng)求不公布姓名;請(qǐng)求不公布姓名;請(qǐng)求不公布姓名設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2025-01-10向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本電遷移評(píng)估方法、裝置及電子設(shè)備在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供了一種電遷移評(píng)估方法、裝置及電子設(shè)備，涉及集成電路技術(shù)領(lǐng)域。該方法包括：獲取集成電路樣品在多個(gè)應(yīng)用場(chǎng)景下分別對(duì)應(yīng)的工作溫度和工作時(shí)間，并依據(jù)多個(gè)工作時(shí)間之和得到目標(biāo)壽命時(shí)間。確定集成電路樣品的電遷移溫度函數(shù)。利用電遷移溫度函數(shù)將每個(gè)工作溫度下對(duì)應(yīng)的工作時(shí)間歸一化到參考溫度下，以得到第一等效時(shí)間?；陔娺w移溫度函數(shù)、目標(biāo)壽命時(shí)間和多個(gè)第一等效時(shí)間確定第一等效溫度。在第一等效溫度下對(duì)集成電路樣品進(jìn)行電遷移仿真分析，得到仿真結(jié)果，并基于仿真結(jié)果評(píng)估集成電路樣品中的互連線是否存在電遷移風(fēng)險(xiǎn)。本發(fā)明中的第一等效溫度更加貼近集成電路樣品的實(shí)際應(yīng)用溫度，極大地提高了電遷移分析的準(zhǔn)確性。

本發(fā)明授權(quán)電遷移評(píng)估方法、裝置及電子設(shè)備在權(quán)利要求書中公布了：1.一種電遷移評(píng)估方法，其特征在于，用于評(píng)估集成電路樣品中互連線的電遷移風(fēng)險(xiǎn)，所述方法包括：獲取所述集成電路樣品在多個(gè)應(yīng)用場(chǎng)景下分別對(duì)應(yīng)的工作溫度和工作時(shí)間，并依據(jù)多個(gè)所述工作時(shí)間之和得到目標(biāo)壽命時(shí)間；確定所述集成電路樣品的電遷移溫度函數(shù)；利用所述電遷移溫度函數(shù)將每個(gè)工作溫度下對(duì)應(yīng)的所述工作時(shí)間歸一化到參考溫度下，以得到第一等效時(shí)間；基于所述電遷移溫度函數(shù)、所述目標(biāo)壽命時(shí)間和多個(gè)所述第一等效時(shí)間確定第一等效溫度；獲取所述集成電路樣品的工藝信息；當(dāng)所述集成電路樣品采用立體工藝制成時(shí)，在所述第一等效溫度下對(duì)所述集成電路樣品進(jìn)行電遷移仿真分析，得到第一仿真結(jié)果，并基于所述第一仿真結(jié)果評(píng)估立體工藝集成電路樣品中的互連線是否存在電遷移風(fēng)險(xiǎn)；當(dāng)所述集成電路樣品采用平面工藝制成時(shí)，在所述第一等效溫度下對(duì)所述集成電路樣品進(jìn)行電遷移仿真分析，得到互連線的第一平均電流電遷移值和均方根電流電遷移值；基于所述均方根電流電遷移值和預(yù)設(shè)自發(fā)熱溫升得到互連線的實(shí)際自發(fā)熱溫升，其中，所述預(yù)設(shè)自發(fā)熱溫升為所述均方根電流電遷移值為100%時(shí)所對(duì)應(yīng)的互連線的自發(fā)熱產(chǎn)生的溫升值；基于所述電遷移溫度函數(shù)、所述第一等效溫度、所述實(shí)際自發(fā)熱溫升和所述第一平均電流電遷移值得到第二平均電流電遷移值；基于所述第二平均電流電遷移值評(píng)估平面工藝集成電路樣品中的互連線是否存在電遷移風(fēng)險(xiǎn)。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人珠海電科星拓科技有限公司，其通訊地址為：519085 廣東省珠海市高新區(qū)唐家灣鎮(zhèn)天星五路159號(hào)4棟312號(hào)(集中辦公區(qū))；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。