恭喜村田機械株式會社T·朔貝爾獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜村田機械株式會社申請的專利基材載體及基材載體堆疊獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN112352307B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-29發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:201980039870.0,技術領域涉及:H01L21/673;該發明授權基材載體及基材載體堆疊是由T·朔貝爾;B·拉赫巴赫;C·沃漢卡;Y·芬納;G·多維德;J·菲德斯設計研發完成,并于2019-06-17向國家知識產權局提交的專利申請。
本基材載體及基材載體堆疊在說明書摘要公布了:基材載體堆疊,其包括彼此堆疊或可堆疊并且在基材載體堆疊的內容納空間內承載相應的板狀基材的僅一種類型的基材載體。基材載體各自包括定位形成構造。如果上基材載體和下基材載體相對于彼此適當地定位,則每對上基材載體和下基材載體的定位形成構造相互接合或可接合。
本發明授權基材載體及基材載體堆疊在權利要求書中公布了:1.基材載體堆疊,其包括:多個基材載體,其在豎直方向上堆疊,使得對于每對豎直相鄰的基材載體,下基材載體支撐上基材載體;其中所述多個基材載體中的每個基材載體包括外載體框架,所述外載體框架在水平框架平面中圍繞包括內開口的內區域延伸;所述多個基材載體中的每個基材載體包括基材座以將基材容納并承載在所述基材載體堆疊的內容納空間內,所述內容納空間由所述多個基材載體的所述內開口限定;所述多個基材載體中的每個基材載體在所述外載體框架處包括上支撐形成構造和下支撐形成構造,所述下基材載體的所述上支撐形成構造支撐所述上基材載體的所述下支撐形成構造;所述多個基材載體中的每個基材載體的所述外載體框架包括沿著第一框架腹板軸線延伸的第一框架腹板、沿著第二框架腹板軸線延伸的第二框架腹板、沿著第三框架腹板軸線延伸的第三框架腹板以及沿著第四框架腹板軸線延伸的第四框架腹板;所述第一框架腹板軸線與所述第四框架腹板軸線在所述第一框架腹板和所述第四框架腹板的第一頂點處以直角相交,所述第一框架腹板和所述第四框架腹板在所述外載體框架的第一框架頂點區域處連接,所述第一框架頂點區域與所述第一框架腹板和所述第四框架腹板相關聯;所述第一框架腹板軸線與所述第二框架腹板軸線在所述第一框架腹板和所述第二框架腹板的第二頂點處以直角相交,所述第一框架腹板和所述第二框架腹板在所述外載體框架的第二框架頂點區域處連接,所述第二框架頂點區域與所述第一框架腹板和所述第二框架腹板相關聯;所述第三框架腹板軸線與所述第四框架腹板軸線在所述第三框架腹板和所述第四框架腹板的第四頂點處以直角相交,所述第三框架腹板和所述第四框架腹板在所述外載體框架的第四框架頂點區域處連接,所述第四框架頂點區域與所述第三框架腹板和所述第四框架腹板相關聯;所述第三框架腹板軸線與所述第二框架腹板軸線在所述第三框架腹板和所述第二框架腹板的第三頂點處以直角相交,所述第三框架腹板和所述第二框架腹板在所述外載體框架的第三框架頂點區域處連接,所述第三框架頂點區域與所述第三框架腹板和所述第二框架腹板相關聯;所述多個基材載體中的每個基材載體包括多個基材保持臂,所述多個基材保持臂從所述外載體框架向內和向上延伸,與所述內區域重疊并且限定所述基材座;所述基材座定位在所述外載體框架在豎直方向上的上方的一定距離處;所述多個基材載體中的每個基材載體包括第一定位形成構造和第二定位形成構造,使得對于每對豎直相鄰的基材載體,所述下基材載體的所述第一定位形成構造與所述上基材載體的所述第二定位形成構造接合;相應的基材載體的所述多個基材保持臂中的每個基材保持臂在與相應的框架腹板相關聯的兩個框架頂點區域之間的區域中被設置在所述框架腹板中相關聯的框架腹板處,其中所述基材保持臂在距與所述相應的框架腹板相關聯的兩個框架頂點區域中相應的最近的框架頂點區域變化的距離處被設置在所述相應的框架腹板處,使得相應的基材載體的設置在具有平行的框架腹板軸線的兩個框架腹板的直徑相對的框架腹板部處的各對基材保持臂具有距所述相應的最近的框架頂點區域的不同距離;所述多個基材載體中的所有都具有相同的結構;每對豎直相鄰的基材載體中的基材載體被堆疊為使得:所述下基材載體的所述第一框架腹板支撐所述上基材載體的所述第三框架腹板,所述下基材載體的所述第二框架腹板支撐所述上基材載體的所述第四框架腹板,所述下基材載體的所述第三框架腹板支撐所述上基材載體的所述第一框架腹板,并且所述下基材載體的所述第四框架腹板支撐所述上基材載體的所述第二框架腹板;所述第一定位形成構造和所述第二定位形成構造位于所述多個基材載體中的每個基材載體的所述外載體框架的相同的直徑相對的部分處;所述第一定位形成構造和所述第二定位形成構造具有相對于繞豎直旋轉軸線的旋轉的一級旋轉對稱性,使得相應基材載體的框架腹板能夠彼此區分,以及僅當每對豎直相鄰的基材載體中的兩個基材載體彼此堆疊使得所述下基材載體的第一框架腹板支撐所述上基材載體的第三框架腹板、所述下基材載體的第二框架腹板支撐所述上基材載體的第四框架腹板、所述下基材載體的第三框架腹板支撐所述上基材載體的第一框架腹板并且所述下基材載體的第四框架腹板支撐所述上基材載體的第二框架腹板時,所述每對豎直相鄰的基材載體中的所述下基材載體的所述第一定位形成構造與所述每對豎直相鄰的基材載體中的所述上基材載體的所述第二定位形成構造接合,其中:所述上支撐形成構造包括上密封形成構造,并且所述下支撐形成構造包括下密封形成構造;所述上密封形成構造和所述下密封形成構造中的第一個密封形成構造包括圍繞所述內區域連續地延伸的連續密封唇,并且所述上密封形成構造和所述下密封形成構造中的第二個密封形成構造包括圍繞所述內區域連續地延伸的連續密封表面帶;對于每對豎直相鄰的基材載體,所述上基材載體的所述下密封形成構造與所述下基材載體的所述上密封形成構造接合以將所述內區域和所述內容納空間與圍繞所述基材載體堆疊的區域密封開。
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