恭喜朗姆研究公司安吉拉·海克獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜朗姆研究公司申請的專利蝕刻劑組合物獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112385019B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201980045966.8，技術領域涉及：H01L21/3213；該發明授權蝕刻劑組合物是由安吉拉·海克;王洪志;大衛·羅設計研發完成，并于2019-08-15向國家知識產權局提交的專利申請。
本蝕刻劑組合物在說明書摘要公布了：本發明涉及一種蝕刻劑組合物，尤其是涉及一種水性掩模層蝕刻劑組合物，其用于從襯底例如半導體晶片的表面將鎢摻雜的碳掩模層移除。該組合物包含：a基于該組合物的總重量，10到40wt.％的過氧化氫；以及b基于該組合物的總重量，0.1到2.0wt.％的一或多種腐蝕抑制劑。
本發明授權蝕刻劑組合物在權利要求書中公布了：1.一種水性蝕刻劑組合物，所述組合物包含：a.基于所述組合物的總重量，30到32wt.％的過氧化氫；以及b.基于所述組合物的總重量，0.1到2.0wt.％的一或多種腐蝕抑制劑，基于所述組合物的總重量，其包含0.4到0.6wt.％的甲苯基三唑TTA，其中所述組合物實質上不含額外的蝕刻劑添加物。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人朗姆研究公司，其通訊地址為：奧地利菲拉赫；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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