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龍圖騰網(wǎng)恭喜株式會(huì)社斯庫(kù)林集團(tuán)申請(qǐng)的專利基板處理裝置及基板處理方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN113490999B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202080014920.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/304；該發(fā)明授權(quán)基板處理裝置及基板處理方法是由高橋朋宏;武知圭;秋山剛志;佐佐木光敏設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-02-19向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本基板處理裝置及基板處理方法在說明書摘要公布了：基板處理裝置100將基板W浸漬于作為貯存于內(nèi)槽112的處理液L的貯存處理液L1進(jìn)行基板W的處理。基板處理裝置100具備氣泡供給部130和循環(huán)部160。氣泡供給部130向貯存處理液L1供給氣泡KA。循環(huán)部160對(duì)氣泡供給部130生成貯存處理液L1的第一液流R1。

本發(fā)明授權(quán)基板處理裝置及基板處理方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種基板處理裝置，其將基板浸漬于作為貯存于貯存部的處理液的貯存處理液，并進(jìn)行上述基板的處理，上述基板處理裝置的特征在于，具備：氣泡供給部，其向上述貯存處理液供給氣泡；以及液流生成部，其對(duì)上述氣泡供給部生成上述貯存處理液的液流，上述氣泡供給部具有氣體流動(dòng)的第一管部，在上述第一管部形成有配置于上述貯存處理液內(nèi)的氣泡放出口，上述氣泡放出口向上述貯存處理液內(nèi)放出上述氣體的氣泡，上述液流生成部具有上述處理液流動(dòng)的第二管部，在上述第二管部形成有配置于上述貯存處理液內(nèi)的處理液放出口，上述處理液放出口通過向上述貯存處理液內(nèi)放出在上述第二管部中流動(dòng)的上述處理液而在上述氣泡放出口的周邊生成上述液流，上述液流生成部具有一對(duì)上述第二管部，一對(duì)上述第二管部以?shī)A著上述第一管部的方式與上述第一管部平行地配置。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人株式會(huì)社斯庫(kù)林集團(tuán)，其通訊地址為：日本京都府；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。