恭喜株式會社斯庫林集團高橋朋宏獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜株式會社斯庫林集團申請的專利基板處理裝置及基板處理方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113490999B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080014920.2，技術領域涉及：H01L21/304；該發明授權基板處理裝置及基板處理方法是由高橋朋宏;武知圭;秋山剛志;佐佐木光敏設計研發完成，并于2020-02-19向國家知識產權局提交的專利申請。
本基板處理裝置及基板處理方法在說明書摘要公布了：基板處理裝置100將基板W浸漬于作為貯存于內槽112的處理液L的貯存處理液L1進行基板W的處理?；逄幚硌b置100具備氣泡供給部130和循環部160。氣泡供給部130向貯存處理液L1供給氣泡KA。循環部160對氣泡供給部130生成貯存處理液L1的第一液流R1。
本發明授權基板處理裝置及基板處理方法在權利要求書中公布了：1.一種基板處理裝置，其將基板浸漬于作為貯存于貯存部的處理液的貯存處理液，并進行上述基板的處理，上述基板處理裝置的特征在于，具備：氣泡供給部，其向上述貯存處理液供給氣泡；以及液流生成部，其對上述氣泡供給部生成上述貯存處理液的液流，上述氣泡供給部具有氣體流動的第一管部，在上述第一管部形成有配置于上述貯存處理液內的氣泡放出口，上述氣泡放出口向上述貯存處理液內放出上述氣體的氣泡，上述液流生成部具有上述處理液流動的第二管部，在上述第二管部形成有配置于上述貯存處理液內的處理液放出口，上述處理液放出口通過向上述貯存處理液內放出在上述第二管部中流動的上述處理液而在上述氣泡放出口的周邊生成上述液流，上述液流生成部具有一對上述第二管部，一對上述第二管部以夾著上述第一管部的方式與上述第一管部平行地配置。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人株式會社斯庫林集團，其通訊地址為：日本京都府；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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