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龍圖騰網恭喜弗蘭霍菲爾運輸應用研究公司申請的專利具有大流體有效表面的MEMS獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113614022B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202080022805.X，技術領域涉及：B81B7/02；該發明授權具有大流體有效表面的MEMS是由塞爾久·蘭加;霍爾格·康拉德;貝爾特·凱澤設計研發完成，并于2020-03-17向國家知識產權局提交的專利申請。

本具有大流體有效表面的MEMS在說明書摘要公布了：本發明涉及一MEMS包括包含一空腔的一基材。該MEMS包括一可移動層布置結構，該可移動層布置結構布置在該空腔中，該空腔包含一第一桁條、一第二桁條及布置在該第一桁條與該第二桁條之間并固定在與之電氣絕緣的分立區域處的一第三桁條。該可移動層布置結構被組配用以響應于一第一桁條與一第三桁條之間的一電位、或響應于該第二桁條與該第三桁條之間的一電位而在一基材平面中沿著一移動方向進行一移動。第一、第二及第三桁條是該可移動層布置結構的一第一層的部分。該可移動層布置結構包含沿著垂直于該基材平面的一方向相鄰于該第一層布置的一第二層。該第二層沿著該移動方向采可移動方式布置。

本發明授權具有大流體有效表面的MEMS在權利要求書中公布了：1.一種微機電系統，包括：一基材，包含一空腔；一可移動層布置結構，布置在該空腔中，該空腔包括一第一桁條、一第二桁條及布置在該第一桁條與該第二桁條之間并固定在與之電氣絕緣的分立區域處的一第三桁條；其中該可移動層布置結構被組配用以響應于該第一桁條與該第三桁條之間的一電位、或響應于該第二桁條與該第三桁條之間的一電位而在一基材平面中沿著一移動方向進行一移動；其中第一、第二及第三桁條是該可移動層布置結構的一第一層的部分，并且該可移動層布置結構包含沿著垂直于該基材平面的一方向z相鄰于該第一層布置的一第二層，其中該第二層沿著該移動方向采可移動方式布置；其中，相對于該第一層、該第二層提供用于與一流體相互作用的一附加區域；并且其中該第二層結構化成一第四桁條、一第五桁條及一第六桁條，其中該第四桁條相鄰于該第一桁條布置；并且該第五桁條相鄰于該第二桁條；以及該第六桁條沿著垂直于該基材平面的該方向z相鄰于該第三桁條；或者其中該第一桁條、該第二桁條及該第三桁條形成一可移動元件，并且其中該第二層形成一電阻器結構以供與該空腔中的一流體相互作用，機械性連接至該可移動元件，并且連同該可移動元件一起移動及或變形。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人弗蘭霍菲爾運輸應用研究公司，其通訊地址為：德國慕尼黑；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。