恭喜臺灣積體電路制造股份有限公司陳柏宏獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜臺灣積體電路制造股份有限公司申請的專利光刻膠劑烘烤設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN113703293B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110528811.9，技術領域涉及：G03F7/38；該發明授權光刻膠劑烘烤設備是由陳柏宏;陳裕凱設計研發完成，并于2021-05-14向國家知識產權局提交的專利申請。
本光刻膠劑烘烤設備在說明書摘要公布了：本公開實施例提供一種光刻膠劑烘烤設備。光刻膠劑烘烤設備包括烘烤室、烤盤、排氣管路以及蓋板。烘烤室在其側壁上具有排氣口?？颈P設置于烘烤室中，并且配置用以支撐晶片及加熱在晶片上方的光刻膠劑材料。排氣管連接到排氣口，并且配置用以排出烘烤室內部的氣體。蓋板設置于烤盤上方且位于烤盤和排氣口之間。蓋板具有多個排氣孔以允許空氣流過。其中，較遠離排氣口的排氣孔的尺寸大于較靠近排氣口的排氣孔的尺寸。
本發明授權光刻膠劑烘烤設備在權利要求書中公布了：1.一種光刻膠劑烘烤設備，包括：一烘烤室，在該烘烤室的一側壁上具有一排氣口；一烤盤，設置于該烘烤室中，配置用以支撐一晶片及加熱在該晶片上方的一光刻膠劑材料；一排氣管路，連接到該排氣口，配置用以排出該烘烤室內部的一氣體；以及一蓋板，設置于該烤盤上方且位于該烤盤和該排氣口之間，其中該蓋板具有多個排氣孔以允許空氣流過，其中，較遠離該排氣口的多個所述排氣孔中的一個的尺寸大于較靠近該排氣口的多個所述排氣孔中的一個的尺寸，且尺寸較大的多個所述排氣孔也具有較大的間距，其中隨著多個所述排氣孔與該排氣口之間的距離逐漸增加，多個所述排氣孔之間的間距逐漸增大。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人臺灣積體電路制造股份有限公司，其通訊地址為：中國臺灣新竹市；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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