恭喜勝高股份有限公司高梨啟一獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜勝高股份有限公司申請的專利用于制造無缺陷單晶硅晶體的方法和設備獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114318511B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-29發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202111152966.3,技術領域涉及:C30B15/22;該發明授權用于制造無缺陷單晶硅晶體的方法和設備是由高梨啟一;下崎一平設計研發完成,并于2021-09-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于制造無缺陷單晶硅晶體的方法和設備在說明書摘要公布了:本發明涉及用于制造無缺陷單晶硅晶體的方法和設備。一種晶體提拉機設備包括提拉組件,其用以以提拉速度從硅熔體提拉晶體;坩堝,其裝納硅熔體;在硅熔體的表面上方的熱屏蔽件;升降器,其用以改變熱屏蔽件和硅熔體的表面之間的間隙;以及一個或多個計算裝置,其用以響應于提拉速度的變化在晶體的給定長度下使用Pv?Pi容限來確定對間隙的調節。由計算裝置進行的計算機實施的方法包括確定提拉速度命令信號以控制晶體的直徑;確定升降器命令信號以控制熱屏蔽件和從其生長晶體的硅熔體的表面之間的間隙;以及響應于不同的提拉速度使用Pv?Pi容限來確定對間隙的調節。
本發明授權用于制造無缺陷單晶硅晶體的方法和設備在權利要求書中公布了:1.一種晶體提拉機設備,包括:提拉組件,其用以以提拉速度從硅熔體提拉晶體;坩堝,其裝納所述硅熔體;在所述硅熔體的表面上方的熱屏蔽件;升降器,其用以改變所述熱屏蔽件和所述硅熔體的表面之間的間隙;以及一個或多個計算裝置,其通過將晶體的所測量的直徑與期望的直徑相比較來計算直徑差,基于所述直徑差來改變所述提拉速度,以及響應于所述提拉速度的變化使用Pv-Pi容限來進一步調節所述間隙。
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