深圳市海譜納米光學科技有限公司林琳獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉深圳市海譜納米光學科技有限公司申請的專利一種FPI批量測試系統及其測試方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114113871B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-29發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202111406674.8,技術領域涉及:G01R31/01;該發明授權一種FPI批量測試系統及其測試方法是由林琳;黃錦標;郭斌設計研發完成,并于2021-11-24向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種FPI批量測試系統及其測試方法在說明書摘要公布了:本發明提出了一種FPI批量測試系統,包括控制器、第一多路復用器、第二多路復用器以及FPI承載模塊;所述FPI承載模塊包括m條橫向選通線、n條豎向選通線以及由m行n列FPI載具組成的FPI載具陣列,所述FPI載具陣列用于承載待測試的FPI,從而構成FPI陣列;m條所述橫向選通線的一端均電性連接第一多路復用器,且另一端分別并聯所述FPI陣列對應行的n個FPI,n條所述豎向選通線的一端均電性連接第二多路復用器,且另一端分別并聯所述FPI陣列對應列的m個FPI;還包括成像設備,所述成像設備用于采集所述FPI陣列的干涉圖像。本發明通過搭建FPI承載模塊,基于多路復用器構建FPI選通陣列,兼容了個體間的差異,滿足FPI批量化測試需求,因此大大的提高了FPI的測試效率。
本發明授權一種FPI批量測試系統及其測試方法在權利要求書中公布了:1.一種FPI批量測試系統,其特征在于,包括控制器、第一多路復用器、第二多路復用器以及連接在所述第一多路復用器與所述第二多路復用器之間的FPI承載模塊;所述FPI承載模塊包括m條橫向選通線、n條豎向選通線以及由m行n列FPI載具組成的FPI載具陣列,所述m≥2,n≥2,且所述m、n均為整數,所述FPI載具陣列用于承載待測試的FPI,從而構成FPI陣列;m條所述橫向選通線的一端均電性連接所述第一多路復用器,且另一端分別并聯所述FPI陣列對應行的n個所述FPI,n條所述豎向選通線的一端均電性連接所述第二多路復用器,且另一端分別并聯所述FPI陣列對應列的m個所述FPI,所述第一多路復用器和第二多路復用器均電性連接至控制器;還包括成像設備,所述成像設備用于采集所述FPI陣列的干涉圖像;所述系統用于對所述干涉圖像進行檢測,當檢測到所述干涉圖像存在缺陷點時,提取所述缺陷點的信息,并在所述缺陷點上框選出對應的檢測窗口,利用所述檢測窗口的步進對所述FPI陣列中其它FPI的相同位置進行對比檢測。
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