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龍圖騰網(wǎng)恭喜江蘇京創(chuàng)先進(jìn)電子科技有限公司申請(qǐng)的專利晶圓搬運(yùn)方法、機(jī)械手及劃片機(jī)獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115258681B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-29發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202211068717.0，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B65G47/91；該發(fā)明授權(quán)晶圓搬運(yùn)方法、機(jī)械手及劃片機(jī)是由劉炳先;于光明;呂孝袁;張?zhí)烊A;孫志超設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2022-09-02向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本晶圓搬運(yùn)方法、機(jī)械手及劃片機(jī)在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明揭示了晶圓搬運(yùn)方法、機(jī)械手及劃片機(jī)，其中晶圓搬運(yùn)方法采用帶防掉落機(jī)構(gòu)的機(jī)械手進(jìn)行晶圓的抓取，防掉落機(jī)構(gòu)的托鉤包括連接板、托板及導(dǎo)向限位板，托板的頂面水平設(shè)置且低于真空吸盤(pán)的底部，導(dǎo)向限位板傾斜設(shè)置在托板的頂面且導(dǎo)向限位板的下端到托板的前端的水平距離小于導(dǎo)向限位板的上端到托板的前端的水平距離；在真空吸盤(pán)吸附晶圓的邊框之后或同時(shí)，使托板伸入到晶圓的邊框下方，即使在晶圓從真空吸盤(pán)上掉落，也能夠有效地通過(guò)一組托板將從真空吸盤(pán)上下落的晶圓托住，從而避免其掉落損壞，保證了晶圓的安全性；幾個(gè)導(dǎo)向限位板能夠?qū)A進(jìn)行定位和限位以保證晶圓在機(jī)械手上的位置精度，進(jìn)而保證晶圓移動(dòng)到下一位置時(shí)的位置精度。

本發(fā)明授權(quán)晶圓搬運(yùn)方法、機(jī)械手及劃片機(jī)在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.晶圓搬運(yùn)方法，通過(guò)搬運(yùn)機(jī)器人進(jìn)行晶圓的搬運(yùn)，所述搬運(yùn)機(jī)器人包括機(jī)械手以及驅(qū)動(dòng)所述機(jī)械手平移和升降的移動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述機(jī)械手包括基板，所述基板上設(shè)置有四個(gè)呈矩形分布的真空吸盤(pán)，所述基板上還設(shè)置有防掉落機(jī)構(gòu)，所述防掉落機(jī)構(gòu)包括一組托鉤以及驅(qū)動(dòng)所述托鉤向被所述真空吸盤(pán)吸附的晶圓平移的托鉤驅(qū)動(dòng)裝置，其特征在于：所述托鉤包括連接板、托板及導(dǎo)向限位板，所述連接板連接托鉤驅(qū)動(dòng)裝置，所述托板的頂面水平設(shè)置且低于所述真空吸盤(pán)的底部，所述導(dǎo)向限位板傾斜設(shè)置在所述托板的頂面且所述導(dǎo)向限位板的下端到所述托板的前端的水平距離小于所述導(dǎo)向限位板的上端到所述托板的前端的水平距離；所述基板的兩端分別垂設(shè)有一橫板，每個(gè)所述橫板上設(shè)置有兩個(gè)對(duì)稱分布在基板兩側(cè)的真空吸盤(pán)，每個(gè)所述橫板上還設(shè)置有兩個(gè)對(duì)稱分布在基板兩側(cè)的托鉤，每個(gè)托鉤連接一設(shè)置在所述橫板上的托鉤驅(qū)動(dòng)裝置，所述托鉤驅(qū)動(dòng)裝置驅(qū)動(dòng)所述托鉤沿垂直于所述橫板的方向平移；兩個(gè)所述橫板連接所述基板上設(shè)置的調(diào)整機(jī)構(gòu)，所述調(diào)整機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)兩個(gè)所述橫板相對(duì)所述基板平移以調(diào)整兩個(gè)所述橫板之間的間距；所述調(diào)整機(jī)構(gòu)包括主動(dòng)輪、從動(dòng)輪、皮帶、電機(jī)及兩個(gè)連接件，所述主動(dòng)輪連接驅(qū)動(dòng)其自轉(zhuǎn)的電機(jī)，所述主動(dòng)輪和從動(dòng)輪的軸線與所述基板垂直，所述從動(dòng)輪可自轉(zhuǎn)地設(shè)置在所述基板，所述主動(dòng)輪和從動(dòng)輪上套裝所述皮帶，兩個(gè)所述連接件連接在所述皮帶的第一直帶段和第二直帶段，每個(gè)所述連接件連接一所述橫板在所述真空吸盤(pán)下移與晶圓的邊框接觸后或所述真空吸盤(pán)將晶圓的邊框吸附后，所述托鉤驅(qū)動(dòng)裝置使一組所述托鉤的托板的前端由邊框的外側(cè)移動(dòng)至邊框的內(nèi)側(cè)，接著所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)所述機(jī)械手移動(dòng)。

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