恭喜中國電子科技集團公司第四十八研究所李杰獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜中國電子科技集團公司第四十八研究所申請的專利一種直寫設備的曝光控制系統及控制方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116974151B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-29發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202310927990.2，技術領域涉及：G03F7/20；該發明授權一種直寫設備的曝光控制系統及控制方法是由李杰;李瑫;譚小林;蘇鑫;梁文彬設計研發完成，并于2023-07-26向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種直寫設備的曝光控制系統及控制方法在說明書摘要公布了：本發明公開了一種直寫設備的曝光控制系統及控制方法，控制系統包括頻率調整電路、曝光執行器、控制接口、曝光文件、輸出接口和曝光狀態寄存器；所述頻率調整電路用于根據曝光參數的要求，產生曝光需求的特定頻率的時鐘，作為曝光執行器的時鐘源；所述曝光文件為預先生成的文件，曝光文件以主場、子場和形狀為層級進行劃分，形成單個或多個文件，文件包含了曝光電路圖案需要的參數操作和曝光控制的全部指令碼；所述曝光執行器，用于接受控制接口的控制，運行曝光文件以完成圖案的曝光。本發明不僅能實現曝光過程的連續執行，提高曝光效率，并同時能保證對曝光時間的高精度控制。
本發明授權一種直寫設備的曝光控制系統及控制方法在權利要求書中公布了：1.一種直寫設備的曝光控制系統，其特征在于，包括頻率調整電路、曝光執行器、控制接口、曝光文件、輸出接口和曝光狀態寄存器；所述頻率調整電路用于根據曝光參數的要求，產生曝光需求的特定頻率的時鐘，作為曝光執行器的時鐘源；所述控制接口，用于控制曝光執行器的行為；所述曝光文件為預先生成的文件；曝光文件以主場、子場和形狀為層級進行劃分，形成單個或多個文件，文件包含了曝光電路圖案需要的參數操作和曝光控制的全部指令碼；所述輸出接口，用于控制直寫設備中的受控可調部件；所述曝光狀態寄存器中包括曝光頻率、步進值、步進次數、分辨率、指令指針和取指標志狀態量中的一種或多種；所述曝光執行器，用于接受控制接口的控制，運行曝光文件以完成圖案的曝光。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人中國電子科技集團公司第四十八研究所，其通訊地址為：410111 湖南省長沙市天心區新開鋪路1025號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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