無錫興華衡輝科技有限公司肖鈺獲國家專利權(quán)
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龍圖騰網(wǎng)獲悉無錫興華衡輝科技有限公司申請(qǐng)的專利一種應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)的浸蝕裝置及方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN119297125B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-18發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:202411815798.5,技術(shù)領(lǐng)域涉及:H01L21/67;該發(fā)明授權(quán)一種應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)的浸蝕裝置及方法是由肖鈺;牟宏山;張新宇;高一楓設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2024-12-11向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。
本一種應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)的浸蝕裝置及方法在說明書摘要公布了:本發(fā)明公開了一種應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)的浸蝕裝置及方法,涉及芯片生產(chǎn)相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明包括底座,底座頂部設(shè)置有浸蝕箱,浸蝕箱左側(cè)設(shè)置有光刻膠組件,且光刻膠組件右側(cè)開設(shè)有若干傾斜分布的注入孔,浸蝕箱外壁對(duì)稱設(shè)置有若干限位桿,若干限位桿外壁設(shè)置有密封板,浸蝕箱內(nèi)壁底部邊角處均設(shè)置有伸縮桿。本發(fā)明借助光刻膠與浸蝕液混合后,提升芯片浸蝕過程中光刻分辨率,從而提升半導(dǎo)體芯片的浸蝕清晰度從而提升浸蝕品質(zhì),同時(shí)在U形管組件不斷運(yùn)動(dòng)過程中,有效改變浸蝕箱內(nèi)部右側(cè)浸蝕液上下壓強(qiáng)差,縮短芯片全面浸蝕的所需時(shí)長,提升浸蝕效率。
本發(fā)明授權(quán)一種應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)的浸蝕裝置及方法在權(quán)利要求書中公布了:1.一種應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)的浸蝕裝置,包括底座(1),其特征在于:所述底座(1)頂部設(shè)置有浸蝕箱(2),所述浸蝕箱(2)左側(cè)設(shè)置有光刻膠組件(21),且光刻膠組件(21)右側(cè)開設(shè)有若干傾斜分布的注入孔,所述浸蝕箱(2)外壁對(duì)稱設(shè)置有若干限位桿(22),若干所述限位桿(22)外壁設(shè)置有密封板(23),所述浸蝕箱(2)內(nèi)壁底部邊角處均設(shè)置有伸縮桿(3),所述伸縮桿(3)伸縮端頂部固定安裝在密封板(23)底部,所述伸縮桿(3)伸縮端外壁設(shè)置有濾孔框(31),所述浸蝕箱(2)內(nèi)部設(shè)置有分隔板(32),且分隔板(32)內(nèi)部開設(shè)有液位槽;所述浸蝕箱(2)內(nèi)部左側(cè)設(shè)置有防模糊裝置(4),所述防模糊裝置(4)上方設(shè)置有防居中裝置(5),所述防居中裝置(5)下方設(shè)置有防殘留裝置(6);所述防模糊裝置(4)包括電動(dòng)轉(zhuǎn)桿(41),所述電動(dòng)轉(zhuǎn)桿(41)底部轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在浸蝕箱(2)內(nèi)壁底部左側(cè),所述電動(dòng)轉(zhuǎn)桿(41)外壁開設(shè)有往復(fù)螺旋槽,所述電動(dòng)轉(zhuǎn)桿(41)外壁下部固定安裝有若干擾流板(42),所述電動(dòng)轉(zhuǎn)桿(41)往復(fù)螺旋槽外壁貫穿且活動(dòng)安裝有滑動(dòng)板(43),所述滑動(dòng)板(43)內(nèi)部貫穿且對(duì)稱固定安裝有兩個(gè)U形管組件(44),所述U形管組件(44)外壁設(shè)置有循環(huán)泵(45),所述滑動(dòng)板(43)頂部固定安裝有豎桿(46),所述豎桿(46)頂部固定安裝有濾板(47),所述濾板(47)左側(cè)開設(shè)有U形槽,所述濾板(47)的U形槽內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有傳動(dòng)輥(48);所述防居中裝置(5)包括絲桿(51)、連桿滑塊(52)、L形板(53)、圓桿(54)和刷動(dòng)板(55)和導(dǎo)向板(56),所述絲桿(51)兩端均固定安裝在傳動(dòng)輥(48)靠近濾板(47)軸心一側(cè),所述連桿滑塊(52)內(nèi)部貫穿且螺紋連接在絲桿(51)外壁,所述L形板(53)左端底部固定在連桿滑塊(52)頂部,所述L形板(53)內(nèi)部開設(shè)有方形槽,所述圓桿(54)兩端均固定安裝在L形板(53)方形槽內(nèi)部,所述刷動(dòng)板(55)內(nèi)部通過扭簧貫穿且鉸接在圓桿(54)外壁處,所述導(dǎo)向板(56)頂部鉸接在刷動(dòng)板(55)外壁處;所述防殘留裝置(6)包括橫板(61)、波浪板(62)、滑動(dòng)框架(63)、傳動(dòng)桿(64)和摩擦輥(65),所述橫板(61)頂部固定安裝在U形板(57)底部,所述波浪板(62)頂部固定安裝在橫板(61)左端底部,所述滑動(dòng)框架(63)底部固定安裝在橫板(61)頂部右側(cè),所述傳動(dòng)桿(64)兩端均轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在滑動(dòng)框架(63)內(nèi)部,所述摩擦輥(65)內(nèi)部貫穿且固定安裝在傳動(dòng)桿(64)外壁處。
如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人無錫興華衡輝科技有限公司,其通訊地址為:214000 江蘇省無錫市新吳區(qū)長江南路35-322號(hào);或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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