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龍圖騰網(wǎng)獲悉無錫興華衡輝科技有限公司申請(qǐng)的專利一種應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)的浸蝕裝置及方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119297125B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-18發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202411815798.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)一種應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)的浸蝕裝置及方法是由肖鈺;牟宏山;張新宇;高一楓設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-12-11向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)的浸蝕裝置及方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)的浸蝕裝置及方法，涉及芯片生產(chǎn)相關(guān)技術(shù)領(lǐng)域。本發(fā)明包括底座，底座頂部設(shè)置有浸蝕箱，浸蝕箱左側(cè)設(shè)置有光刻膠組件，且光刻膠組件右側(cè)開設(shè)有若干傾斜分布的注入孔，浸蝕箱外壁對(duì)稱設(shè)置有若干限位桿，若干限位桿外壁設(shè)置有密封板，浸蝕箱內(nèi)壁底部邊角處均設(shè)置有伸縮桿。本發(fā)明借助光刻膠與浸蝕液混合后，提升芯片浸蝕過程中光刻分辨率，從而提升半導(dǎo)體芯片的浸蝕清晰度從而提升浸蝕品質(zhì)，同時(shí)在U形管組件不斷運(yùn)動(dòng)過程中，有效改變浸蝕箱內(nèi)部右側(cè)浸蝕液上下壓強(qiáng)差，縮短芯片全面浸蝕的所需時(shí)長，提升浸蝕效率。

本發(fā)明授權(quán)一種應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)的浸蝕裝置及方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種應(yīng)用于半導(dǎo)體芯片生產(chǎn)的浸蝕裝置，包括底座（1），其特征在于：所述底座（1）頂部設(shè)置有浸蝕箱（2），所述浸蝕箱（2）左側(cè)設(shè)置有光刻膠組件（21），且光刻膠組件（21）右側(cè)開設(shè)有若干傾斜分布的注入孔，所述浸蝕箱（2）外壁對(duì)稱設(shè)置有若干限位桿（22），若干所述限位桿（22）外壁設(shè)置有密封板（23），所述浸蝕箱（2）內(nèi)壁底部邊角處均設(shè)置有伸縮桿（3），所述伸縮桿（3）伸縮端頂部固定安裝在密封板（23）底部，所述伸縮桿（3）伸縮端外壁設(shè)置有濾孔框（31），所述浸蝕箱（2）內(nèi)部設(shè)置有分隔板（32），且分隔板（32）內(nèi)部開設(shè)有液位槽；所述浸蝕箱（2）內(nèi)部左側(cè)設(shè)置有防模糊裝置（4），所述防模糊裝置（4）上方設(shè)置有防居中裝置（5），所述防居中裝置（5）下方設(shè)置有防殘留裝置（6）；所述防模糊裝置（4）包括電動(dòng)轉(zhuǎn)桿（41），所述電動(dòng)轉(zhuǎn)桿（41）底部轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在浸蝕箱（2）內(nèi)壁底部左側(cè)，所述電動(dòng)轉(zhuǎn)桿（41）外壁開設(shè)有往復(fù)螺旋槽，所述電動(dòng)轉(zhuǎn)桿（41）外壁下部固定安裝有若干擾流板（42），所述電動(dòng)轉(zhuǎn)桿（41）往復(fù)螺旋槽外壁貫穿且活動(dòng)安裝有滑動(dòng)板（43），所述滑動(dòng)板（43）內(nèi)部貫穿且對(duì)稱固定安裝有兩個(gè)U形管組件（44），所述U形管組件（44）外壁設(shè)置有循環(huán)泵（45），所述滑動(dòng)板（43）頂部固定安裝有豎桿（46），所述豎桿（46）頂部固定安裝有濾板（47），所述濾板（47）左側(cè)開設(shè)有U形槽，所述濾板（47）的U形槽內(nèi)部轉(zhuǎn)動(dòng)安裝有傳動(dòng)輥（48）；所述防居中裝置（5）包括絲桿（51）、連桿滑塊（52）、L形板（53）、圓桿（54）和刷動(dòng)板（55）和導(dǎo)向板（56），所述絲桿（51）兩端均固定安裝在傳動(dòng)輥（48）靠近濾板（47）軸心一側(cè)，所述連桿滑塊（52）內(nèi)部貫穿且螺紋連接在絲桿（51）外壁，所述L形板（53）左端底部固定在連桿滑塊（52）頂部，所述L形板（53）內(nèi)部開設(shè)有方形槽，所述圓桿（54）兩端均固定安裝在L形板（53）方形槽內(nèi)部，所述刷動(dòng)板（55）內(nèi)部通過扭簧貫穿且鉸接在圓桿（54）外壁處，所述導(dǎo)向板（56）頂部鉸接在刷動(dòng)板（55）外壁處；所述防殘留裝置（6）包括橫板（61）、波浪板（62）、滑動(dòng)框架（63）、傳動(dòng)桿（64）和摩擦輥（65），所述橫板（61）頂部固定安裝在U形板（57）底部，所述波浪板（62）頂部固定安裝在橫板（61）左端底部，所述滑動(dòng)框架（63）底部固定安裝在橫板（61）頂部右側(cè)，所述傳動(dòng)桿（64）兩端均轉(zhuǎn)動(dòng)安裝在滑動(dòng)框架（63）內(nèi)部，所述摩擦輥（65）內(nèi)部貫穿且固定安裝在傳動(dòng)桿（64）外壁處。

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