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龍圖騰網恭喜素珀電子科技(上海)有限公司申請的專利基板載體姿勢變更裝置、變更姿勢的方法和傳送系統獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119297139B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-18發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411823543.3，技術領域涉及：H01L21/677；該發明授權基板載體姿勢變更裝置、變更姿勢的方法和傳送系統是由朱玉東;嚴夢;劉瑋;趙渠設計研發完成，并于2024-12-12向國家知識產權局提交的專利申請。

本基板載體姿勢變更裝置、變更姿勢的方法和傳送系統在說明書摘要公布了：本發明公開了基板載體姿勢變更裝置、變更姿勢的方法和傳送系統，包括：夾持組件，包括兩個相對設置的夾持件，之間形成用于夾持待夾持板的夾持空間，每個所述夾持件至少具有一個支撐面和一個坡面；驅動組件，設置在兩個所述夾持件之間，所述驅動組件能夠驅動兩個所述夾持件沿水平方向相互靠近或者相互遠離，使得所述夾持空間逐漸縮小或逐漸擴大；配合件，設置在所述夾持空間內，包括沿左右方向相對設置的兩個配合塊，所述配合塊具有傾斜面，所述傾斜面與所述支撐面平行設置。采用上述方案，能夠在基板載體傳輸過程中有效避免晶圓因慣性滑出，同時能夠使基板載體在較高速度下進行夾取和傳輸操作，既提高了工作效率，又確保了晶圓傳輸的穩定性。

本發明授權基板載體姿勢變更裝置、變更姿勢的方法和傳送系統在權利要求書中公布了：1.基板載體姿勢變更裝置，所述基板載體（8）沿前后方向一側具有開口，另一側封閉，所述基板載體（8）沿左右方向兩側均具有待夾持板（82），其特征在于，包括：夾持組件（1），包括兩個相對設置的夾持件，之間形成用于夾持待夾持板（82）的夾持空間，每個所述夾持件至少具有一個支撐面（1122）和一個坡面（1121）；驅動組件（2），設置在兩個所述夾持件之間，所述驅動組件（2）能夠驅動兩個所述夾持件沿水平方向相互靠近或者相互遠離，使得所述夾持空間逐漸縮小或逐漸擴大；配合件（3），設置在所述夾持空間內，包括沿左右方向相對設置的兩個配合塊，所述配合塊具有傾斜面（33），所述傾斜面（33）與所述支撐面（1122）平行設置；其中，所述基板載體（8）具有水平放置的第一姿勢（6）和傾斜放置的第二姿勢（7），所述基板載體（8）處于所述第二姿勢（7）時，所述基板載體（8）的開口方向的延伸線與水平面之間的夾角為銳角；所述基板載體（8）由第一姿勢（6）變更為第二姿勢（7）的過程中，所述夾持空間逐漸縮小，使得所述基板載體（8）的待夾持板（82）靠近所述開口的一側沿著所述坡面（1121）逐漸上升至所述支撐面（1122），使得所述基板載體（8）變更為第二姿勢（7）。

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