蘇州芯鎂信電子科技有限公司;桂林聚聯科技有限公司姚飛獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉蘇州芯鎂信電子科技有限公司;桂林聚聯科技有限公司申請的專利一種MEMS微鏡及其制備方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119330301B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-18發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202411881670.9，技術領域涉及：B81C1/00；該發明授權一種MEMS微鏡及其制備方法是由姚飛;秦志斌;沈方平;周劍超設計研發完成，并于2024-12-19向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種MEMS微鏡及其制備方法在說明書摘要公布了：本申請涉及半導體技術領域，尤其涉及一種MEMS微鏡的制備方法，制備方法包括：提供晶圓襯底，晶圓襯底具有相對的正面和背面，正面為用于形成MEMS微鏡的功能面；于晶圓襯底上形成導電柱和第一標記，導電柱貫穿晶圓襯底，第一標記位于晶圓襯底的背面；于晶圓襯底的正面形成第二標記和第一功能結構；于晶圓襯底的正面側形成鍵合層，鍵合層位于導電柱、第二標記和第一功能結構的上方；以第一標記為套刻對準點，在鍵合層上形成暴露第二標記的標記窗口；以第二標記為套刻對準點，于鍵合層上形成第二功能結構，第二功能結構與第一功能結構套刻對準。基于上述技術方案能夠有效提升MEMS微鏡制備過程中的對準精度。
本發明授權一種MEMS微鏡及其制備方法在權利要求書中公布了：1.一種MEMS微鏡的制備方法，其特征在于，所述制備方法包括：提供晶圓襯底，所述晶圓襯底具有相對的正面和背面，所述正面為用于形成MEMS微鏡的功能面；于所述晶圓襯底上形成導電柱，所述導電柱貫穿所述晶圓襯底；于所述晶圓襯底的背面形成第一標記；于所述晶圓襯底的正面形成第四標記；以所述第四標記為套刻對準點，于所述晶圓襯底的正面形成第二標記和第一功能結構；于所述晶圓襯底的正面側形成鍵合層，所述鍵合層位于所述導電柱、所述第二標記和所述第一功能結構的上方；以所述第一標記為套刻對準點，在所述鍵合層上形成暴露所述第二標記的標記窗口；以所述第二標記為套刻對準點，于所述鍵合層上形成第二功能結構，所述第二功能結構與所述第一功能結構套刻對準。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人蘇州芯鎂信電子科技有限公司;桂林聚聯科技有限公司，其通訊地址為：215168 江蘇省蘇州市吳中經濟開發區興南路21號4號樓5F；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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