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龍圖騰網(wǎng)恭喜蘇州芯鎂信電子科技有限公司;桂林聚聯(lián)科技有限公司申請的專利一種MEMS微鏡及其制備方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN119330301B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-18發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202411881670.9，技術(shù)領(lǐng)域涉及：B81C1/00；該發(fā)明授權(quán)一種MEMS微鏡及其制備方法是由姚飛;秦志斌;沈方平;周劍超設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-12-19向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種MEMS微鏡及其制備方法在說明書摘要公布了：本申請涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種MEMS微鏡的制備方法，制備方法包括：提供晶圓襯底，晶圓襯底具有相對的正面和背面，正面為用于形成MEMS微鏡的功能面；于晶圓襯底上形成導(dǎo)電柱和第一標(biāo)記，導(dǎo)電柱貫穿晶圓襯底，第一標(biāo)記位于晶圓襯底的背面；于晶圓襯底的正面形成第二標(biāo)記和第一功能結(jié)構(gòu)；于晶圓襯底的正面?zhèn)刃纬涉I合層，鍵合層位于導(dǎo)電柱、第二標(biāo)記和第一功能結(jié)構(gòu)的上方；以第一標(biāo)記為套刻對準(zhǔn)點(diǎn)，在鍵合層上形成暴露第二標(biāo)記的標(biāo)記窗口；以第二標(biāo)記為套刻對準(zhǔn)點(diǎn)，于鍵合層上形成第二功能結(jié)構(gòu)，第二功能結(jié)構(gòu)與第一功能結(jié)構(gòu)套刻對準(zhǔn)。基于上述技術(shù)方案能夠有效提升MEMS微鏡制備過程中的對準(zhǔn)精度。

本發(fā)明授權(quán)一種MEMS微鏡及其制備方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種MEMS微鏡的制備方法，其特征在于，所述制備方法包括：提供晶圓襯底，所述晶圓襯底具有相對的正面和背面，所述正面為用于形成MEMS微鏡的功能面；于所述晶圓襯底上形成導(dǎo)電柱，所述導(dǎo)電柱貫穿所述晶圓襯底；于所述晶圓襯底的背面形成第一標(biāo)記；于所述晶圓襯底的正面形成第四標(biāo)記；以所述第四標(biāo)記為套刻對準(zhǔn)點(diǎn)，于所述晶圓襯底的正面形成第二標(biāo)記和第一功能結(jié)構(gòu)；于所述晶圓襯底的正面?zhèn)刃纬涉I合層，所述鍵合層位于所述導(dǎo)電柱、所述第二標(biāo)記和所述第一功能結(jié)構(gòu)的上方；以所述第一標(biāo)記為套刻對準(zhǔn)點(diǎn)，在所述鍵合層上形成暴露所述第二標(biāo)記的標(biāo)記窗口；以所述第二標(biāo)記為套刻對準(zhǔn)點(diǎn)，于所述鍵合層上形成第二功能結(jié)構(gòu)，所述第二功能結(jié)構(gòu)與所述第一功能結(jié)構(gòu)套刻對準(zhǔn)。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人蘇州芯鎂信電子科技有限公司;桂林聚聯(lián)科技有限公司，其通訊地址為：215168 江蘇省蘇州市吳中經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)興南路21號4號樓5F；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。