恭喜齊芯微(紹興)電子材料科技有限公司周輝獲國家專利權
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龍圖騰網(wǎng)恭喜齊芯微(紹興)電子材料科技有限公司申請的專利一種化學機械拋光液及其制備方法和應用獲國家發(fā)明授權專利權，本發(fā)明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119529678B 。
龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產權局官網(wǎng)在2025-04-18發(fā)布的發(fā)明授權授權公告中獲悉：該發(fā)明授權的專利申請?zhí)?專利號為：202510096214.1，技術領域涉及：C09G1/02；該發(fā)明授權一種化學機械拋光液及其制備方法和應用是由周輝;周烈;羅愛清設計研發(fā)完成，并于2025-01-22向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種化學機械拋光液及其制備方法和應用在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種化學機械拋光液，包括腎上腺素類化合物，所述腎上腺素類化合物的分子結構為：，其中R1為x，y?苯二酚或x，y，z?苯三酚，其中x，y，z為2?6的數(shù)字；R2和R3為氫原子、碳數(shù)為1?6的烷烴或碳數(shù)為1?6的醇；n為1?3的數(shù)字。本發(fā)明提供了一種化學機械拋光液及其制備方法和應用，可以在提高拋光液對二氧化硅介質層的拋光速率的同時，抑制氮化硅的拋光速率，并能避免或降低拋光過程中碟形凹槽、劃痕缺陷的產生。
本發(fā)明授權一種化學機械拋光液及其制備方法和應用在權利要求書中公布了：1.一種化學機械拋光液，其特征在于，包括腎上腺素類化合物，還包括溶膠凝膠型氧化鈰研磨顆粒、有機高分子聚合物和有機多元酸，所述腎上腺素類化合物的分子結構為：，其中R1為x，y-苯二酚或x，y，z-苯三酚，其中x，y，z為2-6的數(shù)字；R2和R3為氫原子、碳數(shù)為1-6的烷烴或碳數(shù)為1-6的醇；n為1-3的數(shù)字，所述腎上腺素類化合物質量百分數(shù)為0.05%-0.8%。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯(lián)系本專利的申請人或專利權人齊芯微(紹興)電子材料科技有限公司，其通訊地址為：312065 浙江省紹興市柯橋區(qū)齊賢街道官湖沿村1幢三樓H區(qū)；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。
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1、本報告根據(jù)公開、合法渠道獲得相關數(shù)據(jù)和信息，力求客觀、公正，但并不保證數(shù)據(jù)的最終完整性和準確性。
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