恭喜朗姆研究公司帕特里克·布萊琳獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜朗姆研究公司申請的專利帶有襯底背面清掃和散熱的靜電夾持基座獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN111670492B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：201980011311.9，技術領域涉及：H01L21/683；該發明授權帶有襯底背面清掃和散熱的靜電夾持基座是由帕特里克·布萊琳;蒂莫西·S·托馬斯;拉梅什·錢德拉斯哈蘭;文森特·布克哈特設計研發完成，并于2019-01-28向國家知識產權局提交的專利申請。
本帶有襯底背面清掃和散熱的靜電夾持基座在說明書摘要公布了：一種靜電襯底卡盤帶有襯底背面清掃，以防止偶然的背面沉積，并提供散熱，以防止或減輕密封件失效。
本發明授權帶有襯底背面清掃和散熱的靜電夾持基座在權利要求書中公布了：1.一種靜電卡盤襯底基座，其包括：靜電卡盤，其具有用于夾持襯底的夾持表面，基座架，設置在所述基座架上的散熱元件；和布置成支撐所述靜電卡盤并安裝到所述基座架上的基座桿，所述基座桿包括：a桿壁，在所述桿壁之內或附近設置有一個或多個導管，其用于向所述靜電卡盤供應氣體；b熱交換表面，其用于將熱量從所述桿壁交換到設置在所述基座架上的所述散熱元件，其中，所述熱交換表面是從所述桿壁延伸的突起，所述突起布置成接觸所述基座架上的所述散熱元件；和c布置成與設置在所述桿壁和所述基座架之間的密封件接合的密封接口，其中所述密封接口偏離所述桿壁上的所述熱交換表面使得所述密封件相對于所述熱交換表面經受較少的熱量的偏移距離，其中，所述基座桿包括：第一遠端，其被布置為支撐所述靜電卡盤；和第二遠端，其包括被布置成與所述密封件接合的所述密封接口，其中，所述熱交換表面在所述基座桿的所述第一遠端和所述第二遠端中間。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人朗姆研究公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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