買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費！專利年費監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)恭喜卡爾蔡司SMT有限責(zé)任公司申請的專利在檢查光刻過程的元件中評估統(tǒng)計分布的測量值的方法和裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN112384855B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：201980045278.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G03F1/84；該發(fā)明授權(quán)在檢查光刻過程的元件中評估統(tǒng)計分布的測量值的方法和裝置是由D.塞德爾;A.弗雷塔格;C.沃杰克;S.托普弗;C.施密特;C.胡澤曼設(shè)計研發(fā)完成，并于2019-07-05向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本在檢查光刻過程的元件中評估統(tǒng)計分布的測量值的方法和裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及一種用于在檢查光刻過程的元件810中評估統(tǒng)計分布的測量值100、300、350的方法900，其包括以下步驟：a在訓(xùn)練的機器學(xué)習(xí)模型700中使用多個參數(shù)730，其中，在與測量值100、300、350的測量相關(guān)聯(lián)的時間段中參數(shù)730表征測量環(huán)境880的狀態(tài)；以及b執(zhí)行訓(xùn)練的機器學(xué)習(xí)模型700以便評估測量值100、300、350。

本發(fā)明授權(quán)在檢查光刻過程的元件中評估統(tǒng)計分布的測量值的方法和裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于在檢查光刻過程的元件810中評估統(tǒng)計分布的測量值100、300、350的方法900，包括以下步驟：a.在訓(xùn)練的機器學(xué)習(xí)模型700中使用多個表征參數(shù)730，其中，在分配給所述測量值100、300、350的測量的時間段中所述表征參數(shù)730表征測量環(huán)境880的狀態(tài)；以及b.執(zhí)行所述訓(xùn)練的機器學(xué)習(xí)模型700以便評估所述測量值100、300、350；通過利用訓(xùn)練數(shù)據(jù)集合訓(xùn)練機器學(xué)習(xí)模型600來獲得訓(xùn)練的機器學(xué)習(xí)模型700；訓(xùn)練數(shù)據(jù)集合包括用于訓(xùn)練的表征參數(shù)630和與用于訓(xùn)練的表征參數(shù)630相關(guān)聯(lián)的品質(zhì)標(biāo)準(zhǔn)640。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人卡爾蔡司SMT有限責(zé)任公司，其通訊地址為：德國上科亨；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。