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龍圖騰網(wǎng)恭喜株式會(huì)社斯庫(kù)林集團(tuán)申請(qǐng)的專利基板處理方法以及基板處理裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN113557594B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202080020030.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/304；該發(fā)明授權(quán)基板處理方法以及基板處理裝置是由三浦淳靖;江戶徹設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-02-06向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本基板處理方法以及基板處理裝置在說(shuō)明書摘要公布了：基板處理方法包括：以朝向上下方向的中心軸為中心使基板旋轉(zhuǎn)的工序步驟S11；向旋轉(zhuǎn)中的基板的上表面以及下表面中的一個(gè)主面的中央部供給氣體，并且以第1流量向基板的另一個(gè)主面的中央部供給沖洗液并使該沖洗液向一個(gè)主面的周緣區(qū)域繞流，由此，在一個(gè)主面上形成氣體與沖洗液的氣液界面的工序步驟S13；以及在步驟S13之后，以流量比第1流量小的第2流量向旋轉(zhuǎn)中的基板的另一個(gè)主面的中央部供給藥液并使該藥液向一個(gè)主面的周緣區(qū)域繞流，由此，在一個(gè)主面上到氣液界面供給藥液來(lái)進(jìn)行周緣區(qū)域的藥液處理的工序步驟S15。由此，能夠抑制藥液的液體飛濺地適當(dāng)進(jìn)行基板的周緣區(qū)域的藥液處理。

本發(fā)明授權(quán)基板處理方法以及基板處理裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種基板處理方法，其特征在于，包括：a使被保持為水平狀態(tài)的基板以朝向上下方向的中心軸為中心進(jìn)行旋轉(zhuǎn)的工序；b向旋轉(zhuǎn)中的所述基板的上表面以及下表面中的一個(gè)主面的中央部供給氣體，并且以第1流量向所述基板的另一個(gè)主面的中央部供給沖洗液并使該沖洗液向所述一個(gè)主面的周緣區(qū)域繞流，由此，在所述一個(gè)主面上形成所述氣體與所述沖洗液的氣液界面的工序；以及c與所述b連續(xù)地以流量比所述第1流量小的第2流量向旋轉(zhuǎn)中的所述基板的所述另一個(gè)主面的中央部供給藥液并使該藥液向所述一個(gè)主面的所述周緣區(qū)域繞流，由此，在所述一個(gè)主面上到所述氣液界面為止供給所述藥液來(lái)進(jìn)行所述周緣區(qū)域的藥液處理的工序，所述藥液為使溶質(zhì)溶解于所述沖洗液而得到的藥液。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人株式會(huì)社斯庫(kù)林集團(tuán)，其通訊地址為：日本京都府；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。