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龍圖騰網(wǎng)恭喜JSW阿克迪納系統(tǒng)有限公司申請(qǐng)的專利激光處理裝置及激光監(jiān)測方法獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114556531B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202080064099.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/268；該發(fā)明授權(quán)激光處理裝置及激光監(jiān)測方法是由大森賢一;鄭石煥;佐藤亮介;太田佑三郎設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2020-06-23向國家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本激光處理裝置及激光監(jiān)測方法在說明書摘要公布了：本公開提供了一種能夠形成高質(zhì)量半導(dǎo)體膜的激光處理裝置和激光處理方法。ELA裝置準(zhǔn)分子激光退火裝置1包括：激光振蕩器10，該激光振蕩器10生成激光，該激光用于通過用激光照射在基材上的待處理的非晶硅膜來形成多晶硅膜；脈沖測量儀器100，該脈沖測量儀器100用于探測包含在激光中的第一部分光和第二部分光；以及監(jiān)測裝置60，該監(jiān)測裝置60用于將第一部分光的探測結(jié)果與第二部分光的探測結(jié)果進(jìn)行比較。

本發(fā)明授權(quán)激光處理裝置及激光監(jiān)測方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種激光處理裝置，包括：激光發(fā)生裝置，所述激光發(fā)生裝置被配置成生成施加于待處理的對(duì)象的激光；光電探測裝置，所述光電探測裝置被配置成探測包含在所述激光中的第一部分光和第二部分光；以及監(jiān)測單元，所述監(jiān)測單元被配置成將所述第一部分光的探測結(jié)果與所述第二部分光的探測結(jié)果進(jìn)行比較，其中，所述激光是用于照射基材并使在所述基材上的非晶膜結(jié)晶以形成結(jié)晶膜的線光束，且包括沿垂直于照射方向的方向延伸的線光束，其中，所述第一部分光和所述第二部分光包括在所述線光束的截面中沿短軸方向排列的光的第一部分和第二部分，其中，所述光電探測裝置包括配置成探測所述第一部分光的第一光電探測器和配置成探測所述第二部分光的第二光電探測器，其中，所述監(jiān)測單元比較由所述第一光電探測器探測的第一部分光和由所述第二光電探測器探測的第二部分光的波形。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人JSW阿克迪納系統(tǒng)有限公司，其通訊地址為：日本神奈川縣；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。