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龍圖騰網恭喜深圳市卓興半導體科技有限公司申請的專利運行機構和晶片吸附裝置獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN112802793B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-15發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202110178889.2，技術領域涉及：H01L21/683；該發明授權運行機構和晶片吸附裝置是由曾逸;謝啟全;卓維煌設計研發完成，并于2021-02-09向國家知識產權局提交的專利申請。

本運行機構和晶片吸附裝置在說明書摘要公布了：本發明涉及自動化設備技術領域，公開了一種運行機構和晶片吸附裝置。其中，運行機構包括：操作頭、與操作頭轉動驅動連接的第一驅動組件、以及配置于驅動操作頭滑動的第二驅動組件；其中，第二驅動組件與第一驅動組件連接，以用于驅動第一驅動組件沿第一方向滑動，第一驅動組件用于驅動操作頭繞第一方向轉動；第一驅動組件包括中空的轉軸，操作頭與轉軸連通以用于形成連通的腔體。利用本發明實施例提供的運行機構，通過第二驅動組件帶動第一驅動組件沿第一方向滑動，從而使得第一驅動組件可以對操作頭的位移位置進行調整，同時，通過第一驅動組件帶動操作頭繞第一方向轉動，可以調節操作頭的轉動位置，從而實現位置校準，使得操作的準確性高。

本發明授權運行機構和晶片吸附裝置在權利要求書中公布了：1.一種運行機構，其特征在于，包括：操作頭、與所述操作頭轉動驅動連接的第一驅動組件、以及配置于驅動所述操作頭滑動的第二驅動組件；其中，所述第二驅動組件與所述第一驅動組件連接，以用于驅動所述第一驅動組件沿第一方向滑動，所述第一驅動組件用于驅動所述操作頭繞所述第一方向轉動；所述第一驅動組件包括中空的轉軸，所述操作頭與所述轉軸連通以用于形成連通的腔體；所述第一驅動組件還包括接頭和轉接塊，所述接頭安裝在所述轉接塊上，所述轉接塊與所述轉軸連接；所述第一驅動組件還包括光學觀測窗，所述光學觀測窗設置在所述轉接塊上；所述光學觀測窗采用透光材料制成；所述操作頭包括：芯部，所述芯部具有開口和與所述開口連通的芯內腔；所述芯部與所述轉軸連通以用于形成連通的腔體；第一固定套，所述芯部穿設于所述第一固定套內，所述第一固定套與所述轉軸連接；所述操作頭還包括第二固定套，所述第二固定套套設于所述第一固定套的周側；所述第一固定套為夾頭狀的圓柱結構，所述第一固定套的一端具有倒角斜坡；所述第二固定套為螺母，螺母的內螺紋的一端具有斜坡，通過所述第二固定套的斜坡壓住所述第一固定套的倒角斜坡來夾緊芯部；所述運行機構還包括第一傳感器，所述第一傳感器用于控制所述第二驅動組件完成第一預設行程；所述運行機構還包括第二傳感器，所述第二傳感器用于實時監控所述第二驅動組件在第二預設行程的運行狀態并控制所述第二驅動組件的運行；第二預設行程的數值范圍小于第一預設行程的數值范圍；在對第二驅動組進行粗調后，通過第二傳感器可以實現精確控制第二驅動組件在第二預設行程的停止位置，這樣可以實現對第二驅動組件位移的細調；其中，當第二驅動組件在第二預設行程內運行時，若第二傳感器被觸發，則控制第二驅動組件的運行中斷；若第二傳感器沒有觸發，則控制第二驅動組件的運行至第二預設行程位置停止。

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