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龍圖騰網(wǎng)恭喜深圳市卓興半導(dǎo)體科技有限公司申請的專利運(yùn)行機(jī)構(gòu)和晶片吸附裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN112802793B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202110178889.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/683；該發(fā)明授權(quán)運(yùn)行機(jī)構(gòu)和晶片吸附裝置是由曾逸;謝啟全;卓維煌設(shè)計研發(fā)完成，并于2021-02-09向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本運(yùn)行機(jī)構(gòu)和晶片吸附裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及自動化設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種運(yùn)行機(jī)構(gòu)和晶片吸附裝置。其中，運(yùn)行機(jī)構(gòu)包括：操作頭、與操作頭轉(zhuǎn)動驅(qū)動連接的第一驅(qū)動組件、以及配置于驅(qū)動操作頭滑動的第二驅(qū)動組件；其中，第二驅(qū)動組件與第一驅(qū)動組件連接，以用于驅(qū)動第一驅(qū)動組件沿第一方向滑動，第一驅(qū)動組件用于驅(qū)動操作頭繞第一方向轉(zhuǎn)動；第一驅(qū)動組件包括中空的轉(zhuǎn)軸，操作頭與轉(zhuǎn)軸連通以用于形成連通的腔體。利用本發(fā)明實(shí)施例提供的運(yùn)行機(jī)構(gòu)，通過第二驅(qū)動組件帶動第一驅(qū)動組件沿第一方向滑動，從而使得第一驅(qū)動組件可以對操作頭的位移位置進(jìn)行調(diào)整，同時，通過第一驅(qū)動組件帶動操作頭繞第一方向轉(zhuǎn)動，可以調(diào)節(jié)操作頭的轉(zhuǎn)動位置，從而實(shí)現(xiàn)位置校準(zhǔn)，使得操作的準(zhǔn)確性高。

本發(fā)明授權(quán)運(yùn)行機(jī)構(gòu)和晶片吸附裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種運(yùn)行機(jī)構(gòu)，其特征在于，包括：操作頭、與所述操作頭轉(zhuǎn)動驅(qū)動連接的第一驅(qū)動組件、以及配置于驅(qū)動所述操作頭滑動的第二驅(qū)動組件；其中，所述第二驅(qū)動組件與所述第一驅(qū)動組件連接，以用于驅(qū)動所述第一驅(qū)動組件沿第一方向滑動，所述第一驅(qū)動組件用于驅(qū)動所述操作頭繞所述第一方向轉(zhuǎn)動；所述第一驅(qū)動組件包括中空的轉(zhuǎn)軸，所述操作頭與所述轉(zhuǎn)軸連通以用于形成連通的腔體；所述第一驅(qū)動組件還包括接頭和轉(zhuǎn)接塊，所述接頭安裝在所述轉(zhuǎn)接塊上，所述轉(zhuǎn)接塊與所述轉(zhuǎn)軸連接；所述第一驅(qū)動組件還包括光學(xué)觀測窗，所述光學(xué)觀測窗設(shè)置在所述轉(zhuǎn)接塊上；所述光學(xué)觀測窗采用透光材料制成；所述操作頭包括：芯部，所述芯部具有開口和與所述開口連通的芯內(nèi)腔；所述芯部與所述轉(zhuǎn)軸連通以用于形成連通的腔體；第一固定套，所述芯部穿設(shè)于所述第一固定套內(nèi)，所述第一固定套與所述轉(zhuǎn)軸連接；所述操作頭還包括第二固定套，所述第二固定套套設(shè)于所述第一固定套的周側(cè)；所述第一固定套為夾頭狀的圓柱結(jié)構(gòu)，所述第一固定套的一端具有倒角斜坡；所述第二固定套為螺母，螺母的內(nèi)螺紋的一端具有斜坡，通過所述第二固定套的斜坡壓住所述第一固定套的倒角斜坡來夾緊芯部；所述運(yùn)行機(jī)構(gòu)還包括第一傳感器，所述第一傳感器用于控制所述第二驅(qū)動組件完成第一預(yù)設(shè)行程；所述運(yùn)行機(jī)構(gòu)還包括第二傳感器，所述第二傳感器用于實(shí)時監(jiān)控所述第二驅(qū)動組件在第二預(yù)設(shè)行程的運(yùn)行狀態(tài)并控制所述第二驅(qū)動組件的運(yùn)行；第二預(yù)設(shè)行程的數(shù)值范圍小于第一預(yù)設(shè)行程的數(shù)值范圍；在對第二驅(qū)動組進(jìn)行粗調(diào)后，通過第二傳感器可以實(shí)現(xiàn)精確控制第二驅(qū)動組件在第二預(yù)設(shè)行程的停止位置，這樣可以實(shí)現(xiàn)對第二驅(qū)動組件位移的細(xì)調(diào)；其中，當(dāng)?shù)诙?qū)動組件在第二預(yù)設(shè)行程內(nèi)運(yùn)行時，若第二傳感器被觸發(fā)，則控制第二驅(qū)動組件的運(yùn)行中斷；若第二傳感器沒有觸發(fā)，則控制第二驅(qū)動組件的運(yùn)行至第二預(yù)設(shè)行程位置停止。

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