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龍圖騰網(wǎng)恭喜江蘇魯汶儀器股份有限公司申請(qǐng)的專利一種樣品托盤及其使用方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN115376875B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-15發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202110547638.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01J37/32；該發(fā)明授權(quán)一種樣品托盤及其使用方法是由鄒榮園;鄒志文;崔虎山;劉朋飛;范思大;丁光輝;丁曉林;許開東設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-05-19向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種樣品托盤及其使用方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供一種樣品托盤及其使用方法，該托盤包括具有腔室的托盤本體，所述腔室通過進(jìn)氣孔、排氣孔與外部連通，所述進(jìn)氣孔的出氣端朝向所述排氣孔的設(shè)置，所述進(jìn)氣孔靠近所述排氣孔一端的截面積大于所述排氣孔遠(yuǎn)離所述進(jìn)氣孔一端的截面積。使用時(shí)，在所述托盤上加入樣品，將所述托盤置于勻氣盤和載片臺(tái)之間，并將進(jìn)氣孔與載片臺(tái)上的氣孔連接，通入惰性氣體后即可進(jìn)行刻蝕或沉積作業(yè)。本發(fā)明基于伯努利原理，設(shè)計(jì)了可以與外界形成壓差的中空托盤，通氣后利用壓差吸住樣品，減少了樣品的壓片裝置、元件的使用，并通過惰性氣體的流動(dòng)實(shí)現(xiàn)精準(zhǔn)控溫，從而提高了刻蝕效果的均勻性、整體性。

本發(fā)明授權(quán)一種樣品托盤及其使用方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種樣品托盤，其特征在于：包括具有腔室（M）的托盤本體（3），所述托盤本體（3）上設(shè)有進(jìn)氣孔（21）、排氣孔（22）和通孔（111），所述腔室（M）通過所述進(jìn)氣孔（21）、所述排氣孔（22）和所述通孔（111）與外部連通，所述進(jìn)氣孔（21）的出氣端朝向所述排氣孔（22）的方向設(shè)置，所述通孔（111）設(shè)置在所述托盤本體（3）的樣品接觸面上；所述進(jìn)氣孔（21）靠近所述排氣孔（22）一端的垂直于所述進(jìn)氣孔（21）軸向的截面積為S1，所述排氣孔（22）遠(yuǎn)離所述進(jìn)氣孔（21）一端的垂直于所述排氣孔（22）軸向的截面積為S2，其中S1大于S2，以使所述樣品上的外部壓強(qiáng)大于所述通孔（111）處壓強(qiáng)；所述托盤本體（3）包括相互連接的第一盤（1）和第二盤（2），所述第一盤（1）和所述第二盤（2）共同限定出所述腔室（M）,所述第二盤（2）上設(shè)置所述進(jìn)氣孔（21）和所述排氣孔（22），所述第一盤（1）上設(shè)置所述通孔（111）；所述第一盤（1）上設(shè)有多個(gè)凹槽（11），每個(gè)所述凹槽（11）由所述第一盤的中心沿著徑向向外輻射延伸，且多個(gè)所述凹槽（11）在所述第一盤（1）的周向上均勻間隔開設(shè)置，在每個(gè)所述凹槽（11）上設(shè)有所述通孔（111）；所述第二盤（2）包括底面（23）和第二邊緣（24），所述第二邊緣（24）圍設(shè)在所述底面（23）的外周，所述底面（23）的高度低于所述第二邊緣（24）的高度；所述進(jìn)氣孔（21）設(shè)置在所述底面（23）上，所述排氣孔（22）設(shè)置在所述第二邊緣（24）上，以使一部分進(jìn)氣氣流的流線與所述第一盤（1）相交，另一部分進(jìn)氣氣流通過所述排氣孔（22）排出。

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