恭喜深圳市騰盛精密裝備股份有限公司張俊輝獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜深圳市騰盛精密裝備股份有限公司申請的專利一種晶圓點膠裝置及點膠系統獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN222762925U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-15發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202420653921.7,技術領域涉及:H01L21/56;該實用新型一種晶圓點膠裝置及點膠系統是由張俊輝;盧國藝;李復春;劉榮高;鄭成;陳儒云;王鹽光設計研發完成,并于2024-03-29向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種晶圓點膠裝置及點膠系統在說明書摘要公布了:本申請屬于點膠機技術領域,涉及一種晶圓點膠裝置及點膠系統,晶圓點膠裝置包括:物料搬運機構、晶圓裝載機構、點膠機構、對位冷卻機構和預熱機構,晶圓裝載機構、點膠機構、對位冷卻機構和預熱機構分布在物料搬運機構的外周,物料搬運機構包括機械手,機械手能夠進行水平轉動、升降運動和水平移動,對位冷卻機構與點膠機構鄰近設置,對位冷卻機構包括間隔設置的冷卻組件和對位組件。本申請提供的晶圓點膠裝置結構緊湊,物料搬運機構的路線短,能夠有效的提高物料搬運機構的利用率和點膠裝置的點膠效率。
本實用新型一種晶圓點膠裝置及點膠系統在權利要求書中公布了:1.一種晶圓點膠裝置,其特征在于,包括:物料搬運機構、晶圓裝載機構、點膠機構、對位冷卻機構和預熱機構,所述晶圓裝載機構、所述點膠機構、所述對位冷卻機構和所述預熱機構分布在所述物料搬運機構的外周;所述物料搬運機構包括第一驅動組件、X軸軌道、第二驅動組件和機械手,所述第二驅動組件和所述機械手設置在所述X軸軌道上,所述第一驅動組件用于驅動所述第二驅動組件和所述機械手沿所述X軸軌道移動,所述第二驅動組件用于驅動所述機械手進行升降運動和水平轉動;所述對位冷卻機構與所述點膠機構鄰近設置,所述對位冷卻機構包括間隔設置的冷卻組件和對位組件,所述冷卻組件與所述對位組件之間設有分隔件。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人深圳市騰盛精密裝備股份有限公司,其通訊地址為:518000 廣東省深圳市龍華區大浪街道新石社區新百麗工業園9號101-502;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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