恭喜常州英諾激光科技有限公司胥慶亮獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜常州英諾激光科技有限公司申請的專利晶圓雙面光刻設備獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN222762381U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-15發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202420798728.2，技術領域涉及：G03F7/20；該實用新型晶圓雙面光刻設備是由胥慶亮;靳璞磊;萬晟睿設計研發完成，并于2024-04-16向國家知識產權局提交的專利申請。
本晶圓雙面光刻設備在說明書摘要公布了：本實用新型屬于晶圓加工技術領域，具體涉及一種晶圓雙面光刻設備。本申請的晶圓雙面光刻設備包括通過晶圓載具上料裝置輸送裝有晶圓的晶圓載具，晶圓抓取裝置將晶圓抓取至尋邊對中裝置進行尋邊對中，然后再抓取至接料調整裝置的穿出晶圓加工載具表面的頂桿上，頂桿回收后晶圓落至加工移動機構的晶圓加工載具上，通過激光加工裝置加工其正面后，再進行翻面，然后加工其反面，最后通過晶圓檢測裝置檢測晶圓雙面加工重合度，對合格品和不合格品分別下料，提升了晶圓雙面光刻的加工效率。
本實用新型晶圓雙面光刻設備在權利要求書中公布了：1.一種晶圓雙面光刻設備，其特征在于，包括：晶圓載具上料裝置（1），用于輸送裝有晶圓的晶圓載具（11）；晶圓抓取裝置（2），用于抓取晶圓；尋邊對中裝置（3），用于對晶圓進行尋邊對中；接料調整裝置（6），其包括用于穿出晶圓加工載具（41）表面以吸附晶圓抓取裝置（2）抓取的晶圓的若干頂桿（62）；加工移動機構（4），其上設置有所述晶圓加工載具（41），用于帶動晶圓加工載具（41）移動；激光加工裝置（5），設置在加工位上方，用于對晶圓加工載具（41）的晶圓進行加工；晶圓檢測裝置（7），用于檢測晶圓雙面加工重合度；合格品接料裝置（81）和不合格品接料裝置（82），分別用于容納合格晶圓和不合格晶圓。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人常州英諾激光科技有限公司，其通訊地址為：213000 江蘇省常州市武進區常武中路18-69號常州科教城英諾激光大廈3樓；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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