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龍圖騰網(wǎng)恭喜西安芯暉檢測(cè)技術(shù)有限公司申請(qǐng)的專利旋轉(zhuǎn)晶圓的偏心檢測(cè)裝置及晶圓檢測(cè)系統(tǒng)獲國(guó)家實(shí)用新型專利權(quán)，本實(shí)用新型專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN222718907U 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-04發(fā)布的實(shí)用新型授權(quán)公告中獲悉：該實(shí)用新型的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202422103064.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01B11/27；該實(shí)用新型旋轉(zhuǎn)晶圓的偏心檢測(cè)裝置及晶圓檢測(cè)系統(tǒng)是由楊濤設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-08-28向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本旋轉(zhuǎn)晶圓的偏心檢測(cè)裝置及晶圓檢測(cè)系統(tǒng)在說(shuō)明書摘要公布了：本公開提供了一種用于旋轉(zhuǎn)晶圓的偏心檢測(cè)裝置及晶圓檢測(cè)系統(tǒng)，其中，所述晶圓繞與其垂直的旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)，所述偏心檢測(cè)裝置包括：橢球鏡；光源，所述光源用于朝向所述橢球鏡的第一焦點(diǎn)發(fā)射光束；感測(cè)單元，所述感測(cè)單元設(shè)置在所述橢球鏡的第二焦點(diǎn)處并且用于感測(cè)照射在其感測(cè)面上的光斑的光量，其中，所述光束中在所述第一焦點(diǎn)處被所述晶圓反射的部分形成第一反射光，所述第一反射光被所述橢球鏡反射后形成第二反射光，所述第二反射光中照射所述感測(cè)面的部分形成所述光斑；確定單元，所述確定單元用于根據(jù)所述感測(cè)單元感測(cè)到的所述光量因所述晶圓的旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的變化量確定所述晶圓相對(duì)于其旋轉(zhuǎn)軸線的偏心量。

本實(shí)用新型旋轉(zhuǎn)晶圓的偏心檢測(cè)裝置及晶圓檢測(cè)系統(tǒng)在權(quán)利要求書中公布了：1.一種用于旋轉(zhuǎn)晶圓的偏心檢測(cè)裝置，其中，所述晶圓繞與其垂直的旋轉(zhuǎn)軸線旋轉(zhuǎn)，其特征在于，所述偏心檢測(cè)裝置包括：橢球鏡；光源，所述光源用于朝向所述橢球鏡的第一焦點(diǎn)發(fā)射光束；感測(cè)單元，所述感測(cè)單元設(shè)置在所述橢球鏡的第二焦點(diǎn)處并且用于感測(cè)照射在其感測(cè)面上的光斑的光量，其中，所述光束中在所述第一焦點(diǎn)處被所述晶圓反射的部分形成第一反射光，所述第一反射光被所述橢球鏡反射后形成第二反射光，所述第二反射光中照射所述感測(cè)面的部分形成所述光斑；確定單元，所述確定單元用于根據(jù)所述感測(cè)單元感測(cè)到的所述光量因所述晶圓的旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的變化量確定所述晶圓相對(duì)于其旋轉(zhuǎn)軸線的偏心量。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人西安芯暉檢測(cè)技術(shù)有限公司，其通訊地址為：710000 陜西省西安市高新區(qū)翠北路219號(hào)奕斯偉集成電路產(chǎn)業(yè)基地E6座-002；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。