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龍圖騰網(wǎng)恭喜芯聚德科技(安徽)有限責(zé)任公司申請(qǐng)的專(zhuān)利一種IC載板生產(chǎn)加工用蝕刻裝置獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN119300250B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-04發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202411449627.5，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H05K3/06；該發(fā)明授權(quán)一種IC載板生產(chǎn)加工用蝕刻裝置是由莊欣岳;張曉峰;周燦彬設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2024-10-17向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本一種IC載板生產(chǎn)加工用蝕刻裝置在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明涉及半導(dǎo)體生產(chǎn)加工設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，且公開(kāi)了一種IC載板生產(chǎn)加工用蝕刻裝置，包括殼體，所述殼體的中心轉(zhuǎn)動(dòng)連接有花鍵軸，所述殼體的內(nèi)側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有用于帶動(dòng)載板轉(zhuǎn)動(dòng)的固定板，所述固定板的數(shù)量設(shè)置為若干個(gè)且若干個(gè)固定板兩兩之間通過(guò)轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接有用于夾持載板的夾板。本發(fā)明通過(guò)夾板帶動(dòng)載板繞著花鍵軸的軸線轉(zhuǎn)動(dòng)，使載板與內(nèi)噴淋板和外噴淋板同步轉(zhuǎn)動(dòng)，在保證噴淋蝕刻液相對(duì)對(duì)應(yīng)載板角度，保證蝕刻均勻性的同時(shí)，通過(guò)近似于垂直與蝕刻面的離心作用甩出蝕刻槽內(nèi)經(jīng)過(guò)蝕刻的廢棄蝕刻液，并且通過(guò)載板的水平翻轉(zhuǎn)進(jìn)一步增強(qiáng)了排出廢棄蝕刻液的效果，以及對(duì)載板離心面的交替更換，提高該蝕刻裝置蝕刻的質(zhì)量。

本發(fā)明授權(quán)一種IC載板生產(chǎn)加工用蝕刻裝置在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種IC載板生產(chǎn)加工用蝕刻裝置，包括殼體（1），其特征在于：所述殼體（1）的中心轉(zhuǎn)動(dòng)連接有花鍵軸（23），所述殼體（1）的內(nèi)側(cè)轉(zhuǎn)動(dòng)設(shè)置有用于帶動(dòng)載板（6）轉(zhuǎn)動(dòng)的固定板（4），所述固定板（4）的數(shù)量設(shè)置為若干個(gè)且若干個(gè)固定板（4）兩兩之間通過(guò)轉(zhuǎn)軸轉(zhuǎn)動(dòng)連接有用于夾持載板（6）的夾板（5）,所述夾板（5）用于夾持并帶動(dòng)載板（6）翻轉(zhuǎn)額定角度，所述花鍵軸（23）的通過(guò)花鍵傳動(dòng)連接有傳動(dòng)軸（25），所述傳動(dòng)軸（25）的外側(cè)固定連接有用于帶動(dòng)固定板（4）轉(zhuǎn)動(dòng)的一號(hào)傳動(dòng)桿（15）；所述殼體（1）的內(nèi)側(cè)設(shè)置有用于噴淋刻蝕載板（6）的內(nèi)噴淋板（3），所述殼體（1）的內(nèi)側(cè)設(shè)置有用于噴淋刻蝕載板（6）的外噴淋板（7），所述殼體（1）的內(nèi)側(cè)固定連接有用于調(diào)節(jié)載板（6）離心面的齒環(huán)（11），所述夾板（5）傳動(dòng)連接有與齒環(huán)（11）配合的翻轉(zhuǎn)齒輪（14），所述翻轉(zhuǎn)齒輪（14）與齒環(huán)（11）配合傳動(dòng)帶動(dòng)夾板（5）翻轉(zhuǎn)額定角度。

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