買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標(biāo)用IPTOP,全免費(fèi)！專利年費(fèi)監(jiān)控用IP管家,真方便！

龍圖騰網(wǎng)恭喜慧石(上海)測(cè)控科技有限公司申請(qǐng)的專利壓力傳感器及其制造方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN112924058B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-01發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202110093640.1，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01L1/18；該發(fā)明授權(quán)壓力傳感器及其制造方法是由趙懌;周志健;熊娟;余倫宙設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-01-22向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本壓力傳感器及其制造方法在說明書摘要公布了：本發(fā)明涉及一種壓力傳感器及其制造方法，壓力傳感器包括襯底結(jié)構(gòu)、頂層結(jié)構(gòu)以及敏感膜層結(jié)構(gòu)，頂層結(jié)構(gòu)包括第一硅層、設(shè)于第一硅層背面的第一絕緣層、設(shè)于第一絕緣層背面的壓阻層以及設(shè)于第一硅層正面的頂層第一下絕緣層；頂層結(jié)構(gòu)上形成有貫穿頂層第一下絕緣層、第一硅層及第一絕緣層的淀積孔及梁孔，淀積孔的孔壁上形成有孔壁絕緣層；襯底結(jié)構(gòu)的上表面向下凹陷形成鍵合槽，頂層結(jié)構(gòu)倒置與襯底結(jié)構(gòu)上，頂層第一下絕緣層的正面朝向襯底結(jié)構(gòu)，淀積孔與鍵合槽連通；敏感膜層結(jié)構(gòu)形成于孔壁絕緣層的內(nèi)壁且向下延伸并包覆鍵合槽的內(nèi)壁與頂層結(jié)構(gòu)的下表面。該壓力傳感器形成梁?膜應(yīng)力集中結(jié)構(gòu)，達(dá)到測(cè)量微小壓力的目的。

本發(fā)明授權(quán)壓力傳感器及其制造方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種壓力傳感器，其特征在于：包括襯底結(jié)構(gòu)、頂層結(jié)構(gòu)以及敏感膜層結(jié)構(gòu)，所述頂層結(jié)構(gòu)包括第一硅層、設(shè)于所述第一硅層背面的第一絕緣層、設(shè)于所述第一絕緣層背面的壓阻層以及設(shè)于所述第一硅層正面的頂層第一下絕緣層；所述頂層結(jié)構(gòu)上形成有貫穿所述頂層第一下絕緣層、所述第一硅層及所述第一絕緣層的淀積孔及梁孔，所述淀積孔的孔壁上形成有孔壁絕緣層；所述襯底結(jié)構(gòu)的上表面向下凹陷形成鍵合槽，所述頂層結(jié)構(gòu)倒置于所述襯底結(jié)構(gòu)上，所述頂層第一下絕緣層的正面朝向所述襯底結(jié)構(gòu)，所述淀積孔與所述鍵合槽連通；所述敏感膜層結(jié)構(gòu)形成于所述孔壁絕緣層的內(nèi)壁且向下延伸并包覆所述鍵合槽的內(nèi)壁與所述頂層結(jié)構(gòu)的下表面。

如需購(gòu)買、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)＠麢?quán)人慧石(上海)測(cè)控科技有限公司，其通訊地址為：200000 上海市青浦區(qū)華紡路99號(hào)99弄6幢3樓；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。