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龍圖騰網(wǎng)恭喜上海大學(xué)申請(qǐng)的專利一種基于PdRh負(fù)載SnO₂多殼層結(jié)構(gòu)的甲醛MEMS氣體傳感器及其制備方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN114166899B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-01發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為：202111406436.7，技術(shù)領(lǐng)域涉及：G01N27/12；該發(fā)明授權(quán)一種基于PdRh負(fù)載SnO₂多殼層結(jié)構(gòu)的甲醛MEMS氣體傳感器及其制備方法是由徐甲強(qiáng);蔡海潔;羅娜;王晨設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-11-24向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

本一種基于PdRh負(fù)載SnO₂多殼層結(jié)構(gòu)的甲醛MEMS氣體傳感器及其制備方法在說(shuō)明書摘要公布了：本發(fā)明涉及氣體傳感器技術(shù)領(lǐng)域，具體地說(shuō)是一種基于PdRh負(fù)載SnO2多殼層結(jié)構(gòu)的甲醛MEMS氣體傳感器及其制備方法，水熱法制備碳球模板，硬模板法制備SnO2多殼層空心球，PdRh負(fù)載SnO2多殼層空心球的制備，將制備的材料放入研缽中，滴入黏合劑研磨5～10min，得到粘稠狀的漿料涂覆在帶有Pt叉指電極底上，烘干后將得到的MEMS器件放置在帶有加熱和測(cè)試電極的底座上在在1.5V電壓下老化24～72h，本發(fā)明同現(xiàn)有技術(shù)相比，采用PdRh雙金屬對(duì)SnO2多殼層空心球進(jìn)行改性，制備出氣敏性能一致性好的低功耗MEMS甲醛氣體傳感器，提高傳感器的響應(yīng)、反應(yīng)速度與靈敏度，能夠檢測(cè)到ppb級(jí)別的甲醛濃度。

本發(fā)明授權(quán)一種基于PdRh負(fù)載SnO₂多殼層結(jié)構(gòu)的甲醛MEMS氣體傳感器及其制備方法在權(quán)利要求書中公布了：1.一種基于PdRh負(fù)載SnO2多殼層結(jié)構(gòu)的甲醛MEMS氣體傳感器的制備方法，其特征在于包括有以下步驟：S1：通過(guò)水熱法制備碳球模板，配制0.1～0.3M蔗糖溶液60mL置于100mL反應(yīng)釜，150～200℃水熱反應(yīng)8～12h，自然冷卻至室溫，收集反應(yīng)釜中的黑褐色產(chǎn)物，用去離子水和乙醇交替清洗3～5遍，60～90℃的恒溫干燥箱中干燥8～12h備用；S2：采用硬模板法制備SnO2多殼層空心球，首先配制30mL濃度為1～3M的水合四氯化錫SnCl4·5H2O溶液，加入0.6～1.5g碳球，超聲分散15～30min后，繼續(xù)磁力攪拌4～8h后真空抽濾，去離子水清洗3～5遍，60～90℃干燥8～12h，將干燥后的樣品以1～10℃min的速率升溫至500℃保溫1h，自然冷卻至室溫，即得到SnO2多殼層空心球；S3：PdRh負(fù)載SnO2多殼層空心球的制備，首先，稱取100～200mgSnO2多殼層空心球加到10mL的蒸餾水中，超聲5～10min使其充分分散，然后取0.01～0.03mmol的H2PdCl4和RhCl3·3H2O加到上述混合溶液中，接著加入1mL0.1M的AA溶液，常溫反應(yīng)3h，產(chǎn)物離心收集并用蒸餾水洗滌3～5次，最后在60℃下干燥12h，即得到PdRh負(fù)載SnO2多殼層空心球；S4：將制備的PdRh負(fù)載SnO2多殼層空心球材料放入研缽中，滴入黏合劑，研磨5～10min，得到粘稠狀的漿料，用小毛刷沾取少量的漿料，涂覆在帶有Pt叉指電極底上，然后將其在室溫下烘干，得到具有PdRh負(fù)載SnO2材料敏感層MEMS器件，最后將得到的MEMS器件放置在帶有加熱電極和測(cè)試電極的底座上在1.5V電壓下老化24～72h，從而得到基于PdRh負(fù)載SnO2多殼層空心球材料的甲醛氣體傳感器。

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