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龍圖騰網恭喜上海大學申請的專利一種基于PdRh負載SnO₂多殼層結構的甲醛MEMS氣體傳感器及其制備方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114166899B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-01發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202111406436.7，技術領域涉及：G01N27/12；該發明授權一種基于PdRh負載SnO₂多殼層結構的甲醛MEMS氣體傳感器及其制備方法是由徐甲強;蔡海潔;羅娜;王晨設計研發完成，并于2021-11-24向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種基于PdRh負載SnO₂多殼層結構的甲醛MEMS氣體傳感器及其制備方法在說明書摘要公布了：本發明涉及氣體傳感器技術領域，具體地說是一種基于PdRh負載SnO2多殼層結構的甲醛MEMS氣體傳感器及其制備方法，水熱法制備碳球模板，硬模板法制備SnO2多殼層空心球，PdRh負載SnO2多殼層空心球的制備，將制備的材料放入研缽中，滴入黏合劑研磨5～10min，得到粘稠狀的漿料涂覆在帶有Pt叉指電極底上，烘干后將得到的MEMS器件放置在帶有加熱和測試電極的底座上在在1.5V電壓下老化24～72h，本發明同現有技術相比，采用PdRh雙金屬對SnO2多殼層空心球進行改性，制備出氣敏性能一致性好的低功耗MEMS甲醛氣體傳感器，提高傳感器的響應、反應速度與靈敏度，能夠檢測到ppb級別的甲醛濃度。

本發明授權一種基于PdRh負載SnO₂多殼層結構的甲醛MEMS氣體傳感器及其制備方法在權利要求書中公布了：1.一種基于PdRh負載SnO2多殼層結構的甲醛MEMS氣體傳感器的制備方法，其特征在于包括有以下步驟：S1：通過水熱法制備碳球模板，配制0.1～0.3M蔗糖溶液60mL置于100mL反應釜，150～200℃水熱反應8～12h，自然冷卻至室溫，收集反應釜中的黑褐色產物，用去離子水和乙醇交替清洗3～5遍，60～90℃的恒溫干燥箱中干燥8～12h備用；S2：采用硬模板法制備SnO2多殼層空心球，首先配制30mL濃度為1～3M的水合四氯化錫SnCl4·5H2O溶液，加入0.6～1.5g碳球，超聲分散15～30min后，繼續磁力攪拌4～8h后真空抽濾，去離子水清洗3～5遍，60～90℃干燥8～12h，將干燥后的樣品以1～10℃min的速率升溫至500℃保溫1h，自然冷卻至室溫，即得到SnO2多殼層空心球；S3：PdRh負載SnO2多殼層空心球的制備，首先，稱取100～200mgSnO2多殼層空心球加到10mL的蒸餾水中，超聲5～10min使其充分分散，然后取0.01～0.03mmol的H2PdCl4和RhCl3·3H2O加到上述混合溶液中，接著加入1mL0.1M的AA溶液，常溫反應3h，產物離心收集并用蒸餾水洗滌3～5次，最后在60℃下干燥12h，即得到PdRh負載SnO2多殼層空心球；S4：將制備的PdRh負載SnO2多殼層空心球材料放入研缽中，滴入黏合劑，研磨5～10min，得到粘稠狀的漿料，用小毛刷沾取少量的漿料，涂覆在帶有Pt叉指電極底上，然后將其在室溫下烘干，得到具有PdRh負載SnO2材料敏感層MEMS器件，最后將得到的MEMS器件放置在帶有加熱電極和測試電極的底座上在1.5V電壓下老化24～72h，從而得到基于PdRh負載SnO2多殼層空心球材料的甲醛氣體傳感器。

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