恭喜北京大學儲子昊獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜北京大學申請的專利一種鈣鈦礦薄膜轉移制備垂直腔激光器的方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN114583553B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-01發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202210192256.1,技術領域涉及:H01S5/125;該發明授權一種鈣鈦礦薄膜轉移制備垂直腔激光器的方法是由儲子昊;郭桐;趙詩琪;李艷平;徐萬勁;冉廣照設計研發完成,并于2022-03-01向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種鈣鈦礦薄膜轉移制備垂直腔激光器的方法在說明書摘要公布了:本發明提供了一種鈣鈦礦薄膜轉移制備垂直腔激光器的方法,屬于激光器技術領域。本發明利用親水柔性襯底對鈣鈦礦多晶薄膜進行物理機械轉移,轉移薄膜面積大、平整度高,能夠增加DBR反射鏡襯底間鈣鈦礦多晶薄膜的厚度,從而增大垂直腔激光器的腔長。本發明采用親水柔性襯底對鈣鈦礦多晶薄膜進行物理機械轉移的方法,不會改變其表面形貌和光學性質,不額外引入光學損耗,能夠解決低溶解度鈣鈦礦由于薄膜厚度太小不足以滿足光學諧振腔長度的問題,拓展了其在激光器領域的應用。同時,本發明提供的方法操作簡單,成本低,易于實現工業化批量生產。
本發明授權一種鈣鈦礦薄膜轉移制備垂直腔激光器的方法在權利要求書中公布了:1.一種鈣鈦礦薄膜轉移制備垂直腔激光器的方法,包括以下步驟:1提供旋涂有第一鈣鈦礦多晶薄膜的第一DBR反射鏡襯底、旋涂有第二鈣鈦礦多晶薄膜的第二DBR反射鏡襯底和旋涂有第三鈣鈦礦多晶薄膜的親水柔性襯底;2將親水柔性襯底旋涂有第三鈣鈦礦多晶薄膜的一側與第一DBR反射鏡襯底旋涂有第一鈣鈦礦多晶薄膜的一側貼合,依次進行施加壓力和撤去壓力,揭開親水柔性襯底,將第三鈣鈦礦多晶薄膜轉移至第一鈣鈦礦薄膜表面;3將第二DBR反射鏡襯底旋涂有第二鈣鈦礦多晶薄膜的一側與第三鈣鈦礦多晶薄膜貼合,得到垂直腔激光器。
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