江蘇微導納米科技股份有限公司王亨獲國家專利權
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龍圖騰網獲悉江蘇微導納米科技股份有限公司申請的專利電極饋入裝置和化學沉積設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115710697B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-01發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202211401702.1，技術領域涉及：C23C16/50；該發明授權電極饋入裝置和化學沉積設備是由王亨;廖寶臣;張良俊;李挺設計研發完成，并于2022-11-09向國家知識產權局提交的專利申請。
本電極饋入裝置和化學沉積設備在說明書摘要公布了：本申請公開了電極饋入裝置和化學沉積設備，電極饋入裝置包括電極導桿、電極塊和載片舟。電極塊設置于電極導桿上。載片舟具有舟腳，舟腳與電極塊抵接，以將二者電性連接。其中，電極塊和舟腳的至少其中一者設置有阻擋部，用于阻擋工藝氣體進入舟腳與電極塊之間的縫隙。通過上述方式，本申請能夠增強電場的穩定性。
本發明授權電極饋入裝置和化學沉積設備在權利要求書中公布了：1.一種電極饋入裝置，其特征在于，包括：電極導桿；電極塊，設置于所述電極導桿上；載片舟，所述載片舟具有舟腳，所述舟腳與所述電極塊抵接，以將二者電性連接；其中，所述電極塊和所述舟腳的至少其中一者設置有阻擋部，用于阻擋工藝氣體進入所述舟腳與所述電極塊之間的縫隙，所述工藝氣體沿著所述載片舟的長度方向通入；所述阻擋部在所述電極塊或所述舟腳具有所述阻擋部的表面上的投影占比該表面的20％-75％；所述阻擋部凸出于所述電極塊或所述舟腳的高度與所述電極塊或所述舟腳的厚度之比為20％-65％。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人江蘇微導納米科技股份有限公司，其通訊地址為：214028 江蘇省無錫市新吳區長江南路27號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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