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中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所王之一獲國(guó)家專利權(quán)

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龍圖騰網(wǎng)獲悉中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所申請(qǐng)的專利色散共焦測(cè)量系統(tǒng)及其測(cè)量方法獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專利權(quán),本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予,授權(quán)公告號(hào)為:CN115790373B

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-01發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉:該發(fā)明授權(quán)的專利申請(qǐng)?zhí)?專利號(hào)為:202211444460.4,技術(shù)領(lǐng)域涉及:G01B11/00;該發(fā)明授權(quán)色散共焦測(cè)量系統(tǒng)及其測(cè)量方法是由王之一;楊禹凱;王廷煜;糜小濤;王建立;楊永強(qiáng)設(shè)計(jì)研發(fā)完成,并于2022-11-18向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請(qǐng)。

色散共焦測(cè)量系統(tǒng)及其測(cè)量方法在說(shuō)明書(shū)摘要公布了:本發(fā)明提供一種色散共焦測(cè)量系統(tǒng)及其測(cè)量方法,色散共焦測(cè)量系統(tǒng)通過(guò)第一測(cè)量單元進(jìn)行位置測(cè)量,第二測(cè)量單元進(jìn)行傾斜角度測(cè)量,在測(cè)量位置信息的同時(shí),實(shí)時(shí)測(cè)量待測(cè)物待測(cè)點(diǎn)處法向傾斜角度。色散共焦測(cè)量方法依據(jù)采集的對(duì)應(yīng)共焦波長(zhǎng)的光強(qiáng)分布數(shù)據(jù),以質(zhì)心法獲得反射光束光斑的質(zhì)心位置,結(jié)合首先確定的位置信息,通過(guò)數(shù)學(xué)模型計(jì)算出二維傾斜角度,實(shí)現(xiàn)了位置與傾角的實(shí)時(shí)檢測(cè),且具有低成本、高精度、測(cè)量范圍廣、動(dòng)態(tài)響應(yīng)速度快、信噪比高等優(yōu)勢(shì)。

本發(fā)明授權(quán)色散共焦測(cè)量系統(tǒng)及其測(cè)量方法在權(quán)利要求書(shū)中公布了:1.一種色散共焦測(cè)量系統(tǒng),其特征在于,包括第一測(cè)量單元和第二測(cè)量單元;其中,所述第一測(cè)量單元包括依次沿光路設(shè)置的光源組件、第一分束鏡、第二分束鏡、色散物鏡和信號(hào)接收組件;所述光源組件發(fā)出的光束經(jīng)所述第一分束鏡反射、第二分束鏡透射和所述色散物鏡透射后,入射至待測(cè)物表面,經(jīng)所述待測(cè)物表面反射回的光束依次經(jīng)所述色散物鏡、所述第二分束鏡和所述第一分束鏡透射至所述信號(hào)接收組件,根據(jù)所述信號(hào)接收組件所接收到的光譜信號(hào)進(jìn)行分析,獲得所述待測(cè)物表面待測(cè)點(diǎn)的位置信息;所述第二測(cè)量單元包括依次沿光路設(shè)置的聚焦透鏡、第三分束鏡、第一柱面鏡、第一線陣探測(cè)器、第二柱面鏡和第二線陣探測(cè)器;經(jīng)所述待測(cè)物表面反射回的光束依次經(jīng)所述色散物鏡透射、所述第二分束鏡反射至所述聚焦透鏡進(jìn)行準(zhǔn)直后,入射至所述第三分束鏡進(jìn)行分光,透射光束依次入射至所述第一柱面鏡和所述第一線陣探測(cè)器,反射光束依次入射至所述第二柱面鏡和所述第二線陣探測(cè)器,采集所述第一線陣探測(cè)器和所述第二線陣探測(cè)器的數(shù)據(jù),通過(guò)對(duì)所述數(shù)據(jù)進(jìn)行分析,獲取所述待測(cè)物表面待測(cè)點(diǎn)的傾斜角度信息;結(jié)合所述第一測(cè)量單元獲得的所述待測(cè)物表面待測(cè)點(diǎn)的位置信息,進(jìn)而同時(shí)獲取所述待測(cè)物的表面位置信息和傾角信息;所述信號(hào)接收組件包括第一共焦針孔、光接收單元;經(jīng)所述待測(cè)物反射的光束入射至所述第一共焦針孔濾波后,入射至所述光接收單元,通過(guò)分析所述光接收單元的數(shù)據(jù)得到所述待測(cè)物表面的位置信息;所述第二測(cè)量單元還包括第二共焦針孔;經(jīng)所述待測(cè)物表面反射回的光束依次經(jīng)所述色散物鏡透射、所述第二分束鏡反射至所述第二共焦針孔進(jìn)行濾波。

如需購(gòu)買(mǎi)、轉(zhuǎn)讓、實(shí)施、許可或投資類似專利技術(shù),可聯(lián)系本專利的申請(qǐng)人或?qū)@麢?quán)人中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所,其通訊地址為:130033 吉林省長(zhǎng)春市東南湖大路3888號(hào);或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服,聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。

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