恭喜中國科學院長春光學精密機械與物理研究所王之一獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜中國科學院長春光學精密機械與物理研究所申請的專利色散共焦測量系統及其測量方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN115790373B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-01發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202211444460.4,技術領域涉及:G01B11/00;該發明授權色散共焦測量系統及其測量方法是由王之一;楊禹凱;王廷煜;糜小濤;王建立;楊永強設計研發完成,并于2022-11-18向國家知識產權局提交的專利申請。
本色散共焦測量系統及其測量方法在說明書摘要公布了:本發明提供一種色散共焦測量系統及其測量方法,色散共焦測量系統通過第一測量單元進行位置測量,第二測量單元進行傾斜角度測量,在測量位置信息的同時,實時測量待測物待測點處法向傾斜角度。色散共焦測量方法依據采集的對應共焦波長的光強分布數據,以質心法獲得反射光束光斑的質心位置,結合首先確定的位置信息,通過數學模型計算出二維傾斜角度,實現了位置與傾角的實時檢測,且具有低成本、高精度、測量范圍廣、動態響應速度快、信噪比高等優勢。
本發明授權色散共焦測量系統及其測量方法在權利要求書中公布了:1.一種色散共焦測量系統,其特征在于,包括第一測量單元和第二測量單元;其中,所述第一測量單元包括依次沿光路設置的光源組件、第一分束鏡、第二分束鏡、色散物鏡和信號接收組件;所述光源組件發出的光束經所述第一分束鏡反射、第二分束鏡透射和所述色散物鏡透射后,入射至待測物表面,經所述待測物表面反射回的光束依次經所述色散物鏡、所述第二分束鏡和所述第一分束鏡透射至所述信號接收組件,根據所述信號接收組件所接收到的光譜信號進行分析,獲得所述待測物表面待測點的位置信息;所述第二測量單元包括依次沿光路設置的聚焦透鏡、第三分束鏡、第一柱面鏡、第一線陣探測器、第二柱面鏡和第二線陣探測器;經所述待測物表面反射回的光束依次經所述色散物鏡透射、所述第二分束鏡反射至所述聚焦透鏡進行準直后,入射至所述第三分束鏡進行分光,透射光束依次入射至所述第一柱面鏡和所述第一線陣探測器,反射光束依次入射至所述第二柱面鏡和所述第二線陣探測器,采集所述第一線陣探測器和所述第二線陣探測器的數據,通過對所述數據進行分析,獲取所述待測物表面待測點的傾斜角度信息;結合所述第一測量單元獲得的所述待測物表面待測點的位置信息,進而同時獲取所述待測物的表面位置信息和傾角信息;所述信號接收組件包括第一共焦針孔、光接收單元;經所述待測物反射的光束入射至所述第一共焦針孔濾波后,入射至所述光接收單元,通過分析所述光接收單元的數據得到所述待測物表面的位置信息;所述第二測量單元還包括第二共焦針孔;經所述待測物表面反射回的光束依次經所述色散物鏡透射、所述第二分束鏡反射至所述第二共焦針孔進行濾波。
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