恭喜賽羋科技(上海)有限公司呂南獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜賽羋科技(上海)有限公司申請的專利針對濕法蝕刻設備內晶舟位置的機械手校準治具獲國家實用新型專利權，本實用新型專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN222705486U 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-01發布的實用新型授權公告中獲悉：該實用新型的專利申請號/專利號為：202420359887.2，技術領域涉及：H01L21/68；該實用新型針對濕法蝕刻設備內晶舟位置的機械手校準治具是由呂南;趙陽設計研發完成，并于2024-02-27向國家知識產權局提交的專利申請。
本針對濕法蝕刻設備內晶舟位置的機械手校準治具在說明書摘要公布了：本實用新型公開了一種針對濕法蝕刻設備內晶舟位置的機械手校準治具，包含：主體框架和若干支撐件；其中，主體框架下端設置有若干定位柱；支撐件內側上端設置有直角安放槽，直角安放槽上端設置有倒角。本實用新型解決了現有半導體設備安裝調試過程中不能很好地觀察第一機械手取放晶圓位置的困擾，降低了損壞晶圓和設備的風險。
本實用新型針對濕法蝕刻設備內晶舟位置的機械手校準治具在權利要求書中公布了：1.一種針對濕法蝕刻設備內晶舟位置的機械手校準治具，其特征在于，包含：主體框架，所述主體框架下端設置有若干定位柱；若干支撐件，所述支撐件內側上端設置有直角安放槽，所述直角安放槽上端設置有倒角；所述主體框架上設置有若干定位孔，所述若干定位孔與所述若干定位柱一一對應，所述若干定位柱通過對應的所述定位孔安裝在所述主體框架下端。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人賽羋科技(上海)有限公司，其通訊地址為：201615 上海市松江區九亭鎮九亭中心路1158號6幢304室-1；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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