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恭喜深圳市捷佳偉創新能源裝備股份有限公司伍波獲國家專利權

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龍圖騰網恭喜深圳市捷佳偉創新能源裝備股份有限公司申請的專利一種RPD鍍膜設備獲國家實用新型專利權,本實用新型專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN222700405U

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-01發布的實用新型授權公告中獲悉:該實用新型的專利申請號/專利號為:202420444056.5,技術領域涉及:C23C16/50;該實用新型一種RPD鍍膜設備是由伍波;滿小花;陳麒麟;舒林;王應斌;袁致斌;蘇超穎設計研發完成,并于2024-03-07向國家知識產權局提交的專利申請。

一種RPD鍍膜設備在說明書摘要公布了:本實用新型公開了一種RPD鍍膜設備,屬于一種光伏鍍膜設備領域,包括鍍膜室、多個爐膛和多個等離子體發生器,鍍膜室內設置有鍍膜腔,多個爐膛安裝在鍍膜室上,多個爐膛的一端伸入鍍膜腔內,多個爐膛沿豎直方向間隔排布,爐膛用于加熱靶材,多個等離子體發生器安裝在鍍膜室上,多個等離子體發生器沿豎直方向間隔排布,多個等離子體發生器與多個爐膛一一對應設置,等離子體發生器用于向鍍膜腔內發射等離子束。本實用新型的RPD鍍膜設備,由臥式自下向上鍍膜改為立式鍍膜,可以有效減少粉塵堆積情況和延長開腔清潔時間,多個爐膛沿豎直方向間隔設置,多個等離子體發生器沿豎直方向間隔設置,能夠增加鍍膜幅寬,滿足量產化設備的產能和節拍。

本實用新型一種RPD鍍膜設備在權利要求書中公布了:1.一種RPD鍍膜設備,其特征在于,包括:鍍膜室,所述鍍膜室內設置有鍍膜腔;多個爐膛,安裝在所述鍍膜室上,多個所述爐膛的一端伸入所述鍍膜腔內,多個所述爐膛沿豎直方向間隔排布,所述爐膛用于加熱靶材;多個等離子體發生器,安裝在所述鍍膜室上,多個等離子體發生器沿豎直方向間隔排布,多個所述等離子體發生器與多個所述爐膛一一對應設置,所述等離子體發生器用于向所述鍍膜腔內發射等離子束。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術,可聯系本專利的申請人或專利權人深圳市捷佳偉創新能源裝備股份有限公司,其通訊地址為:518000 廣東省深圳市坪山區龍田街道竹坑社區金牛東路62號一層至六層;或者聯系龍圖騰網官方客服,聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。

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