恭喜睿思微系統(煙臺)有限公司張標獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜睿思微系統(煙臺)有限公司申請的專利一種體聲波諧振器陣列及其制備方法獲國家發明授權專利權,本發明授權專利權由國家知識產權局授予,授權公告號為:CN118100857B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-04-01發布的發明授權授權公告中獲悉:該發明授權的專利申請號/專利號為:202410284021.4,技術領域涉及:H03H9/205;該發明授權一種體聲波諧振器陣列及其制備方法是由張標;陳高鵬設計研發完成,并于2024-03-13向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種體聲波諧振器陣列及其制備方法在說明書摘要公布了:本發明公開了一種體聲波諧振器陣列及其制備方法,應用于體聲波諧振器技術領域,包括多個體聲波諧振器;相鄰體聲波諧振器之間設置有電極連接部,電極連接部連接相鄰體聲波諧振器中位于壓電層同一側的電極,電極連接部的厚度大于連接電極的厚度。通過增加位于相鄰體聲波諧振器之間的,用于連接相鄰體聲波諧振器的電極連接部的厚度,可以使相鄰體聲波諧振器之間具有較低的歐姆損耗,進而增加諧振器的Q值,提升濾波器的性能。
本發明授權一種體聲波諧振器陣列及其制備方法在權利要求書中公布了:1.一種體聲波諧振器陣列,其特征在于,包括多個體聲波諧振器1;相鄰所述體聲波諧振器1之間設置有電極連接部6,所述電極連接部6連接相鄰所述體聲波諧振器1中位于壓電層4同一側的電極,所述電極連接部6的厚度大于連接電極的厚度;單位面積內電極連接部6的電阻低于頂電極5或底電極3的電阻;在形成有多個所述體聲波諧振器1的壓電層4中,位于相鄰所述體聲波諧振器1之間的區域,設置有暴露所述壓電層4下方底電極3的刻蝕孔;所述刻蝕孔內設置有與暴露的所述底電極3相接觸的電極增厚部61,形成所述電極連接部6;所述刻蝕孔設置于壓電層4位于相鄰所述體聲波諧振器1之間的區域,釋放孔設置于壓電層4預設的釋放孔區域,所述刻蝕孔與所述釋放孔為同時刻蝕壓電層4所形成的孔結構。
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