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龍圖騰網(wǎng)恭喜泰州中來光電科技有限公司申請的專利一種PVD靶材獲國家實用新型專利權(quán)，本實用新型專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN222700396U 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-01發(fā)布的實用新型授權(quán)公告中獲悉：該實用新型的專利申請?zhí)?專利號為：202420625329.6，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C14/35；該實用新型一種PVD靶材是由朱義清;薛愛兵;喬振聰;林建偉設(shè)計研發(fā)完成，并于2024-03-28向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種PVD靶材在說明書摘要公布了：本實用新型公開了一種PVD靶材，包括外管、內(nèi)管和磁棒，所述外管套在所述內(nèi)管上，且所述外管與所述內(nèi)管之間存在用于流通冷卻液的管形間隙，所述內(nèi)管包裹所述磁棒；所述內(nèi)管的外壁面上設(shè)有多條沿著所述內(nèi)管的軸向方向螺旋環(huán)繞包裹該外壁面的凹槽結(jié)構(gòu)，進入所述凹槽結(jié)構(gòu)的冷卻液從所述管形間隙的入口經(jīng)該凹槽結(jié)構(gòu)螺旋環(huán)繞所述內(nèi)管的外壁面以流向所述管形間隙的出口。本實用新型能夠能夠在不增加冷卻液的進水壓力、不增加內(nèi)外管之間的間隙的情況下，提高散熱效率。

本實用新型一種PVD靶材在權(quán)利要求書中公布了：1.一種PVD靶材，包括外管、內(nèi)管和磁棒，所述外管套在所述內(nèi)管上，且所述外管與所述內(nèi)管之間存在用于流通冷卻液的管形間隙，所述內(nèi)管包裹所述磁棒；其特征在于，所述內(nèi)管的外壁面上設(shè)有多條沿著所述內(nèi)管的軸向方向螺旋環(huán)繞包裹該外壁面的凹槽結(jié)構(gòu)，進入所述凹槽結(jié)構(gòu)的冷卻液從所述管形間隙的入口經(jīng)該凹槽結(jié)構(gòu)螺旋環(huán)繞所述內(nèi)管的外壁面以流向所述管形間隙的出口。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人泰州中來光電科技有限公司，其通訊地址為：225500 江蘇省泰州市姜堰經(jīng)濟開發(fā)區(qū)開陽路6號；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。