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龍圖騰網(wǎng)恭喜上海微松工業(yè)自動化有限公司申請的專利一種智能化自適應調(diào)整的晶圓解鍵合剝離機獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN118263166B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-04-01發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202410429479.4，技術(shù)領域涉及：H01L21/67；該發(fā)明授權(quán)一種智能化自適應調(diào)整的晶圓解鍵合剝離機是由劉澤洋;張杰;董達陽設計研發(fā)完成，并于2024-04-10向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本一種智能化自適應調(diào)整的晶圓解鍵合剝離機在說明書摘要公布了：本發(fā)明公開了一種智能化自適應調(diào)整的晶圓解鍵合剝離機，本發(fā)明涉及晶圓解鍵合技術(shù)領域，包括殼體、一號支臺、激光剝離頭和溫度智能調(diào)節(jié)模塊，所述殼體的內(nèi)壁安裝有一號支臺，所述殼體的內(nèi)壁安裝有激光剝離頭，所述一號支臺的內(nèi)壁安裝有溫度智能調(diào)節(jié)模塊，所述一號支臺的頂部設有清洗室，所述一號支臺的內(nèi)壁安裝有干燥組件，干燥組件用于晶圓的快速干燥。本發(fā)明通過安裝有由處理器控制加熱環(huán)保持當前功率，處理器檢測到為溫度正常狀態(tài)時，由處理器控制加熱環(huán)的功率保持，同時由溫度傳感器持續(xù)檢測內(nèi)置溫度數(shù)據(jù)由處理器進行判斷，處理器檢測到實時溫度數(shù)據(jù)為溫度過高狀態(tài)或溫度過低狀態(tài)，實現(xiàn)了智能化自。

本發(fā)明授權(quán)一種智能化自適應調(diào)整的晶圓解鍵合剝離機在權(quán)利要求書中公布了：1.一種智能化自適應調(diào)整的晶圓解鍵合剝離機，包括殼體（1）、一號支臺（25）、激光剝離頭（7）和溫度智能調(diào)節(jié)模塊，其特征在于：所述殼體（1）的內(nèi)壁安裝有一號支臺（25），所述殼體（1）的內(nèi)壁安裝有激光剝離頭（7），所述一號支臺（25）的內(nèi)壁安裝有溫度智能調(diào)節(jié)模塊，所述一號支臺（25）的頂部設有清洗室（26），所述一號支臺（25）的內(nèi)壁安裝有干燥組件，干燥組件用于晶圓的快速干燥；所述溫度智能調(diào)節(jié)模塊包括加熱環(huán)（41）、處理器（49）、溫度傳感器（38），處理器（49）位于一號支臺（25）的內(nèi)壁，溫度傳感器（38）位于清洗室（26）的內(nèi)壁，所述一號支臺（25）的內(nèi)壁安裝有風機（39），風機（39）的輸出端安裝有風管（40），加熱環(huán)（41）位于風管（40）的外壁，加熱環(huán)（41）與處理器（49）電性連接，溫度傳感器（38）與處理器（49）電性連接，處理器（49）內(nèi)置溫度數(shù)據(jù)，溫度傳感器（38）用于檢測熱風實時溫度數(shù)據(jù)；處理器（49）檢測到為溫度過高狀態(tài)時，由處理器（49）控制加熱環(huán)（41）的功率降低，同時由溫度傳感器（38）持續(xù)檢測內(nèi)置溫度數(shù)據(jù)，由處理器（49）進行判斷；處理器（49）檢測到實時溫度數(shù)據(jù)為溫度正常狀態(tài)時，由處理器（49）控制加熱環(huán)保持當前功率；處理器（49）檢測到為溫度過低狀態(tài)時，由處理器（49）控制加熱環(huán)（41）的功率加大，同時由溫度傳感器（38）持續(xù)檢測內(nèi)置溫度數(shù)據(jù)由處理器（49）進行判斷；處理器（49）檢測到實時溫度數(shù)據(jù)為溫度正常狀態(tài)時，由處理器（49）控制加熱環(huán)（41）保持當前功率；處理器（49）檢測到為溫度正常狀態(tài)時，由處理器（49）控制加熱環(huán)（41）的功率保持，同時由溫度傳感器（38）持續(xù)檢測內(nèi)置溫度數(shù)據(jù)由處理器（49）進行判斷；處理器（49）檢測到實時溫度數(shù)據(jù)為溫度過高狀態(tài)或溫度過低狀態(tài)，實現(xiàn)了智能化自適應調(diào)整晶圓解鍵合剝離機對晶圓的烘干溫度提高能源利用率的功能。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人上海微松工業(yè)自動化有限公司，其通訊地址為：201112 上海市閔行區(qū)萬芳路333號5幢；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。