恭喜江蘇無錫經緯天地半導體科技有限公司梁德富獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜江蘇無錫經緯天地半導體科技有限公司申請的專利一種旋轉密封機構及半導體沉積設備獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN119400680B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-25發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202510006407.3，技術領域涉及：H01J37/32；該發明授權一種旋轉密封機構及半導體沉積設備是由梁德富;林佳繼設計研發完成，并于2025-01-03向國家知識產權局提交的專利申請。
本一種旋轉密封機構及半導體沉積設備在說明書摘要公布了：本發明公開了一種旋轉密封機構及半導體沉積設備，屬于半導體技術領域。旋轉密封機構應用于半導體沉積設備，旋轉密封機構用于密封豎向設置的旋轉軸，旋轉軸用于支撐并通過自身旋轉以調整晶圓，旋轉密封機構包括支撐組件和密封件，旋轉軸穿設于支撐組件和密封件，旋轉軸的外周設有與旋轉軸相間隔的壓接部；密封件夾緊于壓接部和支撐組件之間，使密封件密封連接于旋轉軸的外周，旋轉軸能夠繞自身的軸線并相對于密封件轉動，保證旋轉軸和旋轉密封機構之間的密封性。
本發明授權一種旋轉密封機構及半導體沉積設備在權利要求書中公布了：1.一種旋轉密封機構，應用于半導體沉積設備，其特征在于，所述旋轉密封機構用于密封豎向設置的旋轉軸21，所述旋轉軸21用于支撐并通過自身旋轉以調整晶圓200，所述旋轉密封機構包括支撐組件31和密封件32，所述旋轉軸21穿設于所述支撐組件31和所述密封件32，所述旋轉軸21的外周設有與所述旋轉軸21相間隔的壓接部212；所述密封件32夾緊于所述壓接部212和所述支撐組件31之間，使所述密封件32密封連接于所述旋轉軸21的外周，所述旋轉軸21能夠繞自身的軸線并相對于所述密封件32轉動；所述密封件32包括截面呈夾角設置的密封部321和延伸部322，所述密封部321套設于所述旋轉軸21，且與所述旋轉軸21呈夾角設置，所述延伸部322夾緊于所述壓接部212和所述支撐組件31之間，所述密封部321位于所述壓接部212和所述旋轉軸21之間。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人江蘇無錫經緯天地半導體科技有限公司，其通訊地址為：214000 江蘇省無錫市錫山區錫北東青河路3號4#樓；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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