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龍圖騰網(wǎng)恭喜東京毅力科創(chuàng)株式會社申請的專利載置臺和基板處理裝置獲國家發(fā)明授權(quán)專利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專利權(quán)由國家知識產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號為：CN112349646B 。

龍圖騰網(wǎng)通過國家知識產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-03-21發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專利申請?zhí)?專利號為：202010760245.X，技術(shù)領(lǐng)域涉及：H01L21/683；該發(fā)明授權(quán)載置臺和基板處理裝置是由小泉克之;高橋雅典;江崎匠大設(shè)計研發(fā)完成，并于2020-07-31向國家知識產(chǎn)權(quán)局提交的專利申請。

本載置臺和基板處理裝置在說明書摘要公布了：本發(fā)明提供載置臺和基板處理裝置。對基板的最外周的溫度進行控制。提供一種載置臺，該載置臺具有位于基板的外側(cè)的第1面和載置基板的第2面，其中，該載置臺與所述第1面對應(yīng)地形成第1流路。

本發(fā)明授權(quán)載置臺和基板處理裝置在權(quán)利要求書中公布了：1.一種載置臺，該載置臺具有位于基板的外側(cè)的第1面和載置基板的第2面，其中，與所述第1面對應(yīng)地形成第1流路，在所述第1面設(shè)置環(huán)構(gòu)件，該環(huán)構(gòu)件位于所述基板的周圍，所述第1流路的上表面的延長線與連結(jié)所述第1流路的上表面中靠近所述第2面的一側(cè)的端部和所述第1面的內(nèi)端部之間的線所成的角度為60°以下，將所述第1面與所述第1流路之間的垂直距離設(shè)為h，將自所述第1面與所述第2面之間的邊界面到所述第1流路的水平距離設(shè)為d，此時，d＞h，所述載置臺具有第1加熱器，該第1加熱器沿垂直方向設(shè)置在所述第1面與所述第1流路之間，并且被配置為控制所述環(huán)構(gòu)件的溫度，在從上方觀察時，所述第1加熱器沿水平方向設(shè)置在所述第2面與所述第1流路之間，并且所述第1加熱器和所述第1流路彼此不重疊。

如需購買、轉(zhuǎn)讓、實施、許可或投資類似專利技術(shù)，可聯(lián)系本專利的申請人或?qū)＠麢?quán)人東京毅力科創(chuàng)株式會社，其通訊地址為：日本東京都；或者聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)官方客服，聯(lián)系龍圖騰網(wǎng)可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網(wǎng)”。