恭喜東莞新科技術研究開發有限公司張建獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜東莞新科技術研究開發有限公司申請的專利去除晶圓表面雜質的方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114284130B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-21發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202011029784.2，技術領域涉及：H01L21/02；該發明授權去除晶圓表面雜質的方法是由張建設計研發完成，并于2020-09-27向國家知識產權局提交的專利申請。
本去除晶圓表面雜質的方法在說明書摘要公布了：本發明涉及微電子技術領域，公開了一種去除晶圓表面雜質的方法，包括：采用堿溶液對晶圓進行清洗；采用乙醇溶液對所述晶圓進行清洗；將所述晶圓置于真空室中，對所述晶圓進行加熱。采用本發明實施例，能夠有效去除晶圓表面殘留的氟離子雜質，從而提高了晶圓的良率。
本發明授權去除晶圓表面雜質的方法在權利要求書中公布了：1.一種去除晶圓表面雜質的方法，其特征在于，包括：采用堿溶液對晶圓進行清洗，用于去除直徑10-15納米的氟離子塵埃；采用乙醇溶液對所述晶圓進行清洗，用于去除直徑5-10納米的氟離子塵埃；將所述晶圓置于真空室中，對所述晶圓進行加熱，用于去除0.5-5納米的氟離子塵埃。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人東莞新科技術研究開發有限公司，其通訊地址為：523087 廣東省東莞市南城區宏遠工業區；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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