恭喜應用材料公司伊利亞·拉維特斯凱獲國家專利權
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龍圖騰網恭喜應用材料公司申請的專利用于物理氣相沉積腔室的加熱屏蔽獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115038808B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-21發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202180010383.9，技術領域涉及：C23C14/56；該發明授權用于物理氣相沉積腔室的加熱屏蔽是由伊利亞·拉維特斯凱;基思·A·米勒;吉留剛一設計研發完成，并于2021-03-15向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于物理氣相沉積腔室的加熱屏蔽在說明書摘要公布了：本文提供在處理腔室中使用的處理屏蔽的實施例。在一些實施例中，在處理腔室中使用的處理屏蔽包括主體，所述主體具有圓柱形狀，其中所述主體包括上部分及下部分，所述上部分具有外唇部且所述下部分從所述上部分向下且徑向向內延伸，其中所述外唇部包括容納緊固件的多個開口、從所述外唇部的外表面徑向向內延伸的多個對準插槽、及凹口下周邊邊緣，且其中所述外唇部的下表面包括多個溝槽。
本發明授權用于物理氣相沉積腔室的加熱屏蔽在權利要求書中公布了：1.一種在處理腔室中使用的處理屏蔽，包括：主體，所述主體具有圓柱形狀，其中所述主體包括上部分和下部分，所述上部分具有外唇部且所述下部分從所述上部分向下且徑向向內延伸，其中所述外唇部包括容納緊固件的多個開口、從所述外唇部的外表面徑向向內延伸的多個對準插槽、及凹口下周邊邊緣，且其中所述外唇部的下表面包括多個溝槽。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人應用材料公司，其通訊地址為：美國加利福尼亞州；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
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1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
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