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龍圖騰網(wǎng)恭喜深圳市三束鍍膜技術(shù)有限公司申請(qǐng)的專(zhuān)利一種封閉式擋板結(jié)構(gòu)獲國(guó)家發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)，本發(fā)明授權(quán)專(zhuān)利權(quán)由國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局授予，授權(quán)公告號(hào)為：CN112921279B 。

龍圖騰網(wǎng)通過(guò)國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局官網(wǎng)在2025-03-21發(fā)布的發(fā)明授權(quán)授權(quán)公告中獲悉：該發(fā)明授權(quán)的專(zhuān)利申請(qǐng)?zhí)?專(zhuān)利號(hào)為：202110373738.2，技術(shù)領(lǐng)域涉及：C23C14/30；該發(fā)明授權(quán)一種封閉式擋板結(jié)構(gòu)是由戰(zhàn)永剛;金小桃;戰(zhàn)捷;湯兆勝;尹強(qiáng)設(shè)計(jì)研發(fā)完成，并于2021-04-07向國(guó)家知識(shí)產(chǎn)權(quán)局提交的專(zhuān)利申請(qǐng)。

本一種封閉式擋板結(jié)構(gòu)在說(shuō)明書(shū)摘要公布了：本發(fā)明公開(kāi)了一種封閉式擋板結(jié)構(gòu)，所述擋板結(jié)構(gòu)包括擋板、觀察筒、支撐架和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述擋板為一底端開(kāi)口頂端密閉的筒形結(jié)構(gòu)，所述擋板的側(cè)壁上設(shè)有一開(kāi)孔，所述開(kāi)孔連接所述觀察筒一端，所述觀察筒固定于所述支撐架上，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的動(dòng)力輸出端連接至所述支撐架上，驅(qū)動(dòng)所述支撐架升降和轉(zhuǎn)動(dòng)。本發(fā)明的擋板結(jié)構(gòu)應(yīng)用于電子槍鍍膜裝置上后，能夠在膜料預(yù)熔時(shí)將蒸發(fā)源完全封閉，避免了坩堝周邊的嚴(yán)重臟污和基片被污染的情況，且本擋板結(jié)構(gòu)上還設(shè)有觀察筒，可在擋板扣下時(shí)實(shí)時(shí)對(duì)膜料的熔料狀況進(jìn)行觀察。本發(fā)明用于雙電子槍的鍍膜設(shè)備時(shí)，可防止兩個(gè)坩堝的膜料相互污染。

本發(fā)明授權(quán)一種封閉式擋板結(jié)構(gòu)在權(quán)利要求書(shū)中公布了：1.一種封閉式擋板結(jié)構(gòu)，其特征在于，包括擋板、觀察筒、支撐架和驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述擋板為一底端開(kāi)口頂端密閉的筒形結(jié)構(gòu)，所述擋板的側(cè)壁上設(shè)有一開(kāi)孔，所述開(kāi)孔連接所述觀察筒一端，所述開(kāi)孔的大小與所述觀察筒的內(nèi)截面大小形狀相同，所述支撐架為三角形，所述觀察筒固定在所述支撐架三角形斜邊上，所述觀察筒另一端指向鍍膜機(jī)觀察窗，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)的動(dòng)力輸出端連接至所述支撐架上，驅(qū)動(dòng)所述支撐架升降和轉(zhuǎn)動(dòng)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括：伸縮驅(qū)動(dòng)器、連接板和旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器，所述伸縮驅(qū)動(dòng)器固定于真空室的底板上，其動(dòng)力輸出端連接至所述連接板上，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器固定于所述連接板上，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器的動(dòng)力輸出端穿過(guò)所述連接板和真空室的底板與所述支撐架相連接，所述旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器的動(dòng)力輸出端與真空室的底板間設(shè)有一動(dòng)密封件，所述動(dòng)密封件為油封或磁流體密封件；還包括襯板和圍筒，所述襯板固定在真空室的底板上且設(shè)有挖孔，所述挖孔位于電子槍陽(yáng)極孔到電子束焦斑位置的區(qū)域上方；所述圍筒固定于所述挖孔一周，罩住所述挖孔。

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