恭喜長江存儲科技有限責任公司徐玲獲國家專利權
買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！
龍圖騰網恭喜長江存儲科技有限責任公司申請的專利用于三維NAND存儲器中的字線觸點的阻擋層及其制造方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN114556564B 。
龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-21發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202180005399.0，技術領域涉及：H10B41/35；該發明授權用于三維NAND存儲器中的字線觸點的阻擋層及其制造方法是由徐玲;王迪;張中;周文犀設計研發完成，并于2021-12-22向國家知識產權局提交的專利申請。
本用于三維NAND存儲器中的字線觸點的阻擋層及其制造方法在說明書摘要公布了：本公開內容提供了一種用于形成三維存儲器器件的方法。該方法包括在垂直于襯底的第一方向上在襯底上設置交替電介質堆疊體；以及在交替電介質堆疊體中形成階梯結構和分隔壁。階梯結構與分隔壁在平行于襯底的第二方向上延伸，并且分隔壁與階梯結構相鄰。該方法還包括在階梯結構上依次形成第一阻擋層和不同于第一阻擋層的第二阻擋層。該方法還包括在分隔壁中形成柵極線縫隙GLS開口。GLS開口在第一方向上穿透交替電介質堆疊體，并且在平行于襯底并且垂直于第二方向的第三方向上遠離第二阻擋層。
本發明授權用于三維NAND存儲器中的字線觸點的阻擋層及其制造方法在權利要求書中公布了：1.一種用于形成三維存儲器器件的方法，包括：設置交替電介質堆疊體，其中，所述交替電介質堆疊體包括在垂直于襯底的第一方向上交替堆疊在所述襯底上的第一電介質層和第二電介質層；在所述交替電介質堆疊體中形成階梯結構和分隔壁，其中，所述階梯結構和所述分隔壁在平行于所述襯底的第二方向上延伸，并且所述分隔壁與所述階梯結構相鄰；在所述階梯結構上依次形成第一阻擋層和不同于所述第一阻擋層的第二阻擋層；以及在所述分隔壁中形成柵極線縫隙GLS開口，其中，所述GLS開口在所述第一方向上穿透所述交替電介質堆疊體，并且在平行于所述襯底并且垂直于所述第二方向的第三方向上遠離所述第二阻擋層。
如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人長江存儲科技有限責任公司，其通訊地址為：430000 湖北省武漢市東湖新技術開發區未來三路88號；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。
免責聲明
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
1、本報告根據公開、合法渠道獲得相關數據和信息，力求客觀、公正，但并不保證數據的最終完整性和準確性。
2、報告中的分析和結論僅反映本公司于發布本報告當日的職業理解，僅供參考使用，不能作為本公司承擔任何法律責任的依據或者憑證。
開放平臺
擔保交易
惠及多方
會員特惠
專屬平臺
適合多方
數據共享
功能齊全
皖公網安備 34010402703815號