買專利賣專利找龍圖騰，真高效！ 查專利查商標用IPTOP,全免費！專利年費監控用IP管家,真方便！

龍圖騰網恭喜深圳市斑巖光子技術有限公司申請的專利激光器結構制備方法及激光器結構獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN116780334B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-21發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210228849.9，技術領域涉及：H01S5/068；該發明授權激光器結構制備方法及激光器結構是由吳芳;唐涌波;克里斯托·弗華生;克里歐·匹米諾夫;優瑞·羅格溫設計研發完成，并于2022-03-08向國家知識產權局提交的專利申請。

本激光器結構制備方法及激光器結構在說明書摘要公布了：本申請涉及一種激光器結構制備方法及激光器結構，所述方法包括：提供外延結構，外延結構包括依次層疊的襯底、第一摻雜介質層、多量子阱有源層及脊形摻雜介質層；于脊形摻雜介質層上形成光柵結構并于光柵結構的端面形成反射面，所述反射面與光柵結構由同一步光刻掩膜定義，并在半導體刻蝕過程中對此掩膜進行選擇性保護，如采用不同刻蝕速率的介質層等方式，以確保所述反射面和光柵結構相對位置不被改變，使從所述反射面反射回激光腔的光具有由設計定義的預設相位，提高了激光器工作的性能及穩定性，降低了生產工藝的復雜度及制造成本，提高良率及可靠性。

本發明授權激光器結構制備方法及激光器結構在權利要求書中公布了：1.一種激光器結構制備方法，其特征在于，包括：提供外延結構，所述外延結構包括依次層疊的襯底、第一摻雜介質層、多量子阱有源層及脊形摻雜介質層；于所述脊形摻雜介質層上形成光柵結構并于所述光柵結構的一端形成反射面，所述光柵結構包括多個沿所述激光器的波導方向周期性間隔分布的光柵溝槽及由各所述光柵溝槽限定的預設導電區域，所述光柵溝槽內形成有至少覆蓋所述光柵溝槽的側壁的透光絕緣層；所述反射面反射回激光腔的光具有可控的預設相位；所述反射面與所述光柵結構由同一片第一掩膜層上的開口圖形定義；所述開口圖形至少限定所述預設相位；所述光柵溝槽形成于所述脊形摻雜介質層內；所述反射面沿垂直所述襯底的方向貫穿所述脊形摻雜介質層、所述多量子阱有源層并延伸至所述第一摻雜介質層內，所述反射面位于所述光柵溝槽的同一側；形成頂面電極層，所述頂面電極層至少與所述預設導電區域的頂面形成歐姆電接觸，使得經由所述頂面電極層注入的載流子依次流經所述預設導電區域、所述光柵溝槽下方的所述脊形摻雜介質層后橫向擴散至所述多量子阱有源層，形成用于提供泵浦的載流子分布區域。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人深圳市斑巖光子技術有限公司，其通訊地址為：518051 廣東省深圳市南山區前海深港合作區南山街道桂灣片區二單元前海卓越金融中心(一期)8號樓805；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。