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龍圖騰網恭喜強一半導體(蘇州)股份有限公司申請的專利一種MEMS探針固定裝置及整平工藝方法獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN115338338B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-21發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202210717174.4，技術領域涉及：B21F1/02；該發明授權一種MEMS探針固定裝置及整平工藝方法是由于海超;徐興光設計研發完成，并于2022-06-23向國家知識產權局提交的專利申請。

本一種MEMS探針固定裝置及整平工藝方法在說明書摘要公布了：本發明涉及一種MEMS探針固定裝置，包括姿態調整機構，以及設置在姿態調整機構上的探針限位機構，探針限位機構包括驅動設置在姿態調整機構上的支撐座，支撐座上設置有超聲腔，超聲腔內設置有MEMS探針限位底座；MEMS探針限位底座上設置有用于限位收納MEMS探針的探針限位槽；MEMS探針限位底座的下部還設置有磁力吸盤。本發明提供了一種MEMS探針固定裝置及整平工藝方法，能將MEMS探針在探針限位槽中擺放有序，便于定位和輔助MEMS探針的整順以及展平的功能。

本發明授權一種MEMS探針固定裝置及整平工藝方法在權利要求書中公布了：1.一種MEMS探針整平工藝方法，其特征在于：采用MEMS探針固定裝置實現，MEMS探針固定裝置包括姿態調整機構，以及設置在姿態調整機構上的探針限位機構，所述探針限位機構包括驅動設置在姿態調整機構上的支撐座，所述支撐座上設置有超聲腔，所述超聲腔內設置有MEMS探針限位底座；所述MEMS探針限位底座上設置有用于限位收納MEMS探針的探針限位槽；所述MEMS探針限位底座的下部還設置有與所述探針限位槽對應的磁力吸盤；所述探針限位機構上還設置有與所述探針限位槽對應的若干個毛刷；所述毛刷能相對所述探針限位槽上擺動拂刷；所述支撐座的上部設置有下凹的安裝槽，所述磁力吸盤設置在所述安裝槽內；或和，姿態調整機構包括X軸位移臺，X軸位移臺上驅動設置有Y軸位移臺，Y軸位移臺上驅動設置有探針限位機構；MEMS探針整平工藝方法，包括以下步驟：步驟S1，將設備初始化或者復位；步驟S2，MEMS探針放置到MEMS探針限位底座上；步驟S3，對探針進行超聲、微位移振動、毛刷刷動，使探針對位，鎖定探針；步驟S4，磁力吸附探針并查驗復核探針的姿態和位置狀態；步驟S5，重復步驟1~步驟4，重復次數是N次，N是自然數；步驟S6，對探針進行校正切割；步驟S7，釋放探針。

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