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龍圖騰網恭喜西安奕斯偉材料科技股份有限公司;西安奕斯偉硅片技術有限公司申請的專利確定產生外延缺陷的部件的方法、裝置及介質獲國家發明授權專利權，本發明授權專利權由國家知識產權局授予，授權公告號為：CN117316798B 。

龍圖騰網通過國家知識產權局官網在2025-03-21發布的發明授權授權公告中獲悉：該發明授權的專利申請號/專利號為：202311278396.1，技術領域涉及：H01L21/66；該發明授權確定產生外延缺陷的部件的方法、裝置及介質是由梁鵬歡;王力;王雄;喻璠設計研發完成，并于2023-09-28向國家知識產權局提交的專利申請。

本確定產生外延缺陷的部件的方法、裝置及介質在說明書摘要公布了：本公開實施例提供了一種確定產生外延缺陷的部件的方法、裝置及介質。該方法包括：獲取待測外延晶圓的缺陷的位置；其中，所述待測外延晶圓包括經清洗后仍存在缺陷的待測外延晶圓；檢測所述待測外延晶圓的缺陷的形貌與成分；當確定所述待測外延晶圓的缺陷的位置為與外延生產設備的接觸位置時，根據所述待測外延晶圓的缺陷的形貌與成分在所述外延生長設備的部件中確定產生所述待測外延晶圓的缺陷的部件。

本發明授權確定產生外延缺陷的部件的方法、裝置及介質在權利要求書中公布了：1.一種確定產生外延缺陷的部件的方法，其特征在于，所述方法包括：獲取待測外延晶圓的缺陷的位置；其中，所述待測外延晶圓包括經清洗后仍存在缺陷的待測外延晶圓；檢測所述待測外延晶圓的缺陷的形貌與成分；當確定所述待測外延晶圓的缺陷的位置為與外延生產設備的接觸位置時，根據所述待測外延晶圓的缺陷的形貌與成分在所述外延生長設備的部件中確定產生所述待測外延晶圓的缺陷的部件；其中，所述根據所述待測外延晶圓的缺陷的形貌與成分在所述外延生長設備的部件中確定產生所述待測外延晶圓的缺陷的部件，包括：若所述待測外延晶圓的缺陷的形貌表征所述待測外延晶圓的缺陷類型為劃痕缺陷，則確定產生所述待測外延晶圓的缺陷的部件為用于在所述外延生產設備的各腔室之間傳送晶圓的機械臂；若所述待測外延晶圓的缺陷的形貌表征所述待測外延晶圓的缺陷類型為堆垛層錯缺陷，且堆垛層錯缺陷中的雜質元素成分為氧元素，則確定產生所述待測外延晶圓的堆垛層錯缺陷的部件為所述外延生產設備的傳送腔；若所述待測外延晶圓的缺陷的形貌表征所述待測外延晶圓的缺陷類型為堆垛層錯缺陷，且堆垛層錯缺陷中的雜質元素成分為碳元素，則確定產生所述待測外延晶圓的堆垛層錯缺陷的部件為所述外延生產設備中的支撐部件；若所述待測外延晶圓的缺陷的形貌表征所述待測外延晶圓的缺陷類型為堆垛層錯缺陷，且堆垛層錯缺陷中的雜質元素成分為硅元素和氯元素，則確定產生所述待測外延晶圓的堆垛層錯缺陷的部件為所述外延生產設備中的處理腔室。

如需購買、轉讓、實施、許可或投資類似專利技術，可聯系本專利的申請人或專利權人西安奕斯偉材料科技股份有限公司;西安奕斯偉硅片技術有限公司，其通訊地址為：710065 陜西省西安市高新區西灃南路1888號1-3-029室；或者聯系龍圖騰網官方客服，聯系龍圖騰網可撥打電話0551-65771310或微信搜索“龍圖騰網”。